一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN104880267A

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201510282041.9

    申请日:2015-05-28

    Abstract: 本发明涉及一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法,属于光纤传感器技术领域;所述压力传感器由一根端面带有微孔的光纤(1)和一段端面完整的光纤膜片(2)熔接构成,所述熔接面与微孔构成内嵌的法布里-珀罗微腔;制作方法:用飞秒激光在一根光纤的端面加工出微孔,此光纤与另一根端面完整的光纤熔接构成法珀微腔,切除并研磨一端的光纤长度至几微米,构成光纤薄膜,形成微纳结构的压力传感器。对比现有传感器,由于传感头是微纳尺寸,温度对压力测量的交叉影响小;使用性能相同的石英材料制成,热膨胀系数一致,结构稳定;综合材质及制作过程,本发明压力传感器具有耐高温,微结构,抗电磁干扰,抗污染,高可靠性和高精度的特点。

    一种基于空芯光纤的微纳光纤振动传感器

    公开(公告)号:CN106124027A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610423867.7

    申请日:2016-06-15

    CPC classification number: G01H9/004

    Abstract: 本发明涉及一种基于空芯光纤的微纳光纤振动传感器,属于光纤传感领域。单模光纤、空芯光纤和实芯光纤顺序熔接;所述空芯光纤为中空圆柱体,且在圆柱体侧面中心处开设槽口;该槽口的轴向长度需小于中空圆柱体的长度;所述槽口是通过用飞秒激光从空芯光纤侧面烧蚀形成的。本发明避免了飞秒激光加工光纤所形成反射面的反射率低甚至没有反射的问题,且具有体积小、共振频率高、耐高温、抗电磁干扰等特点,可用于高温环境下的振动测量。

    一种基于空芯光纤的微纳光纤振动传感器

    公开(公告)号:CN106124027B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201610423867.7

    申请日:2016-06-15

    Abstract: 本发明涉及一种基于空芯光纤的微纳光纤振动传感器,属于光纤传感领域。单模光纤、空芯光纤和实芯光纤顺序熔接;所述空芯光纤为中空圆柱体,且在圆柱体侧面中心处开设槽口;该槽口的轴向长度需小于中空圆柱体的长度;所述槽口是通过用飞秒激光从空芯光纤侧面烧蚀形成的。本发明避免了飞秒激光加工光纤所形成反射面的反射率低甚至没有反射的问题,且具有体积小、共振频率高、耐高温、抗电磁干扰等特点,可用于高温环境下的振动测量。

    一种高温温度和压力光纤法布里珀罗复合微纳传感器

    公开(公告)号:CN105043588B

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:CN201510300783.X

    申请日:2015-06-03

    Abstract: 本发明涉及一种高温温度和压力光纤法布里珀罗复合微纳传感器,属于光纤传感器技术领域。本发明的传感器,包括光纤接入段、压力传感器段和温度传感器段;光纤接入段为实芯光纤,压力传感器为空芯的薄壁光纤,温度传感器为另一段实芯光纤;本发明采用飞秒激光加工的方法在两根实芯光纤端面各加工出一个圆柱形孔,然后将之熔接,形成一个FP干涉型的压力腔,将其中一根光纤作为光纤接入段,切割另外一根光纤并磨削成一定厚度的一段实芯光纤,形成温度传感器,通过控制温度传感器和压力传感器的腔长差来实现双参数测量的解耦。对比已有技术,本发明具有结构尺寸小、耐高温和温度/压力可同时测量且无双参数交叉敏感的优点。

    一种高温温度和压力光纤法布里珀罗复合微纳传感器

    公开(公告)号:CN105043588A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510300783.X

    申请日:2015-06-03

    Abstract: 本发明涉及一种高温温度和压力光纤法布里珀罗复合微纳传感器,属于光纤传感器技术领域。本发明的传感器,包括光纤接入段、压力传感器段和温度传感器段;光纤接入段为实芯光纤,压力传感器为空芯的薄壁光纤,温度传感器为另一段实芯光纤;本发明采用飞秒激光加工的方法在两根实芯光纤端面各加工出一个圆柱形孔,然后将之熔接,形成一个FP干涉型的压力腔,将其中一根光纤作为光纤接入段,切割另外一根光纤并磨削成一定厚度的一段实芯光纤,形成温度传感器,通过控制温度传感器和压力传感器的腔长差来实现双参数测量的解耦。对比已有技术,本发明具有结构尺寸小、耐高温和温度/压力可同时测量且无双参数交叉敏感的优点。

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