公开(公告)号：CN103499385A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201310452081.4

申请日：2013-09-25

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 陈强华 ,  刘景海 ,  何永熹 ,  罗会甫 ,  蒋弘 ,  吴健 ,  王锋

IPC: G01H9/00

Abstract: 本发明涉及激光干涉测量领域，具体涉及一种新型高精度双频同时测量激光外差干涉相位测振光路，包括：双频激光源、第一、二、三半透半反镜、样品、半波片、全反射镜、偏振分光镜、第一、二探测器、相位测量仪。激光源发出相互正交的频率分量为f1和f2的线偏振光，光束经第一半透半反镜后被分为两束，透射光先后经第二半透半反镜、样品、快轴角度为45°的半波片、全反射镜，与反射光在第三半透半反镜处合光并入射至偏振分光镜后被分为各含平行和垂直分量的两束光，含水平分量光透射后被第一探测器接收形成第一测量信号，含垂直分量光反射后被第二探测器接收形成第二测量信号，样品振动导致二者频差为2△f，并被相位测量仪测得相应的相位差。

公开(公告)号：CN103499384A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201310446715.5

申请日：2013-09-25

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 陈强华 ,  刘景海 ,  罗会甫 ,  何永熹 ,  吴健 ,  蒋弘 ,  王锋

IPC: G01H9/00

Abstract: 本发明涉及激光干涉测量领域，具体涉及一种新型双频激光外差干涉相位测振光路，包括：双频激光源、第一、二半透半反镜、第一、二探测器、第一、二偏振分光镜、1/4波片、样品、全反射镜、相位测量仪。激光源发出相互正交的频率分量为f1和f2的线偏振光，光束经第一半透半反镜后被分为两束，反射光被第一探测器接收形成参考光，透射光入射至第一偏振分光镜后被分为各含平行分量f1和垂直分量f2的两束光，f1光先后经第二偏振分光镜、快轴角度为45°的1/4波片、振动样品、全反射镜，与f2光在第二半透半反镜处合光被第二探测器接收形成测量光。样品振动导致测量与参考信号的频差为△f，从而被相位测量仪测得相应的相差

公开(公告)号：CN103499385B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201310452081.4

申请日：2013-09-25

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 陈强华 ,  刘景海 ,  何永熹 ,  罗会甫 ,  蒋弘 ,  吴健 ,  王锋

IPC: G01H9/00

Abstract: 本发明涉及激光干涉测量领域，具体涉及一种高精度双频同时测量激光外差干涉相位测振光路，包括：双频激光源、第一、二、三半透半反镜、样品、半波片、全反射镜、偏振分光镜、第一、二探测器、相位测量仪。激光源发出相互正交的频率分量为f1和f2的线偏振光，光束经第一半透半反镜后被分为两束，透射光先后经第二半透半反镜、样品、快轴角度为45°的半波片、全反射镜，与反射光在第三半透半反镜处合光并入射至偏振分光镜后被分为各含平行和垂直分量的两束光，含水平分量光透射后被第一探测器接收形成第一测量信号，含垂直分量光反射后被第二探测器接收形成第二测量信号，样品振动导致二者频差为2△f，并被相位测量仪测得相应的相位差。