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公开(公告)号：CN106289209A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610587305.6
申请日：2016-07-22
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56
Abstract: 本发明提供了一种适用于宽量程应用下的振动结构陀螺仪的控制方法和控制系统，选定能够满足要求的振动结构陀螺仪的第一模态振幅的设定值V0，作为零角速率输入时第一模态的目标振幅；选定角速率阈值Ωth；依据输入角速率的大小选择不同的工作模式。使其能够满足大量程工作时的性能需求，同时又不降低小量程应用时的精度。本发明满足了众多应用领域中对于宽量程工作的需求，提供的振动结构陀螺仪控制系统具有同样的技术效果。
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公开(公告)号：CN113532409B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202110678238.X
申请日：2021-06-18
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC: G01C19/5776 , B81B7/02
Abstract: 一种高精度数字MEMS陀螺控制系统，包括驱动模态闭环控制环路，检测模态闭环控制环路、调制解调信号相位闭环控制环路，使系统可始终跟随陀螺谐振频率变化，通过温补后的驱动模态解调信号相位调整值φ1、驱动模态调制信号相位调整值φ2、检测模态解调信号相位调整值φ3、检测模态调制信号调整值φ4对两模态调制解调信号的相位分别进行调整，通过此系统，解决了当前陀螺控制系统中调制解调信号相位误差对陀螺仪检测精度的影响，大大提高MEMS陀螺仪性能指标。
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公开(公告)号：CN106712721B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201611213380.2
申请日：2016-12-23
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC: H03D3/18
Abstract: 本发明公开了一种用于旋变‑数字转换的参考同步电路，包括控制传输电路、多路选择器以及比较器，控制传输电路接收旋变产生的正弦信号和余弦信号以及旋变数字角度信号的高三位，向多路选择器输出A，B两路信号；多路选择器通过同步功能使能端接收外部输入的同步功能使能信号，并在同步功能使能信号无效时向比较器输出旋变励磁参考信号REF_H和REF_L，在同步功能使能信号有效时向比较器输出A，B两路信号；比较器比较两路输入信号的大小，输出同步参考信号REF，用于为相敏解调模块提供参考时钟，以提高旋变‑数字转换电路测角精度。
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公开(公告)号：CN106629576A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611244538.2
申请日：2016-12-29
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种硅基MEMS碟形陀螺，包括：敏感结构、盖帽层、衬底层、金属层和绝缘层；其中，所述绝缘层与所述衬底层的上表面相连接；所述金属层与所述绝缘层相连接；所述金属层刻蚀有第一金属触点和第二金属触点；所述敏感结构与第一金属触点、第二金属触点相连接；所述盖帽层罩于所述敏感结构并与所述金属层相连接。本发明使得检测精度高和温度效应低。
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公开(公告)号：CN109470228A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811279399.6
申请日：2018-10-30
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于内嵌式差分电极的MEMS碟形陀螺及其制备方法。该结构由单晶硅材料加工形成，包括：陀螺敏感结构以及嵌入在敏感结构平面内部的电极；所述的陀螺敏感结构包括：中心锚点、以锚点中心为圆心的N个同心圆环，其中，中心锚点用于固定陀螺敏感结构，同心圆环与锚点、圆环与圆环之间通过辐条连接，辐条和多个同心圆环共同构成陀螺的可动弹性结构。本发明在环形敏感结构内部嵌入大量的电极，大大增加了电容面积，提高检测精度。同时，嵌入式电极均成对出现，可实现差分检测、差分驱动，提高陀螺的线性度与抗干扰能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106712721A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201611213380.2
申请日：2016-12-23
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC: H03D3/18
Abstract: 本发明公开了一种用于旋变‑数字转换的参考同步电路，包括控制传输电路、多路选择器以及比较器，控制传输电路接收旋变产生的正弦信号和余弦信号以及旋变数字角度信号的高三位，向多路选择器输出A，B两路信号；多路选择器通过同步功能使能端接收外部输入的同步功能使能信号，并在同步功能使能信号无效时向比较器输出旋变励磁参考信号REF_H和REF_L，在同步功能使能信号有效时向比较器输出A，B两路信号；比较器比较两路输入信号的大小，输出同步参考信号REF，用于为相敏解调模块提供参考时钟，以提高旋变‑数字转换电路测角精度。
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公开(公告)号：CN109470228B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201811279399.6
申请日：2018-10-30
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于内嵌式差分电极的MEMS碟形陀螺及其制备方法。该结构由单晶硅材料加工形成，包括：陀螺敏感结构以及嵌入在敏感结构平面内部的电极；所述的陀螺敏感结构包括：中心锚点、以锚点中心为圆心的N个同心圆环，其中，中心锚点用于固定陀螺敏感结构，同心圆环与锚点、圆环与圆环之间通过辐条连接，辐条和多个同心圆环共同构成陀螺的可动弹性结构。本发明在环形敏感结构内部嵌入大量的电极，大大增加了电容面积，提高检测精度。同时，嵌入式电极均成对出现，可实现差分检测、差分驱动，提高陀螺的线性度与抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN103759722A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201310746223.8
申请日：2013-12-30
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5684
Abstract: 本发明提供了一种环形陀螺仪的静电调整方法及静电调整系统，该方法包括：计算失调参数λ；计算表征谐振环非理想程度的非理想参数f和g；确定需要调整的两组调整电极的调整电压的大小；以及将得到的调整电压分别施加到对应组的调整电极上，重复前面的步骤，直至两个模态的频率差满足调整要求。通过该方法，可快速精确地确定调整电极上的调整电压，利用该调整电压对谐振环产生的弹性力弥补由于工艺误差造成的谐振环的不理想性。根据本发明的静电调整系统具有同样的技术效果。
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公开(公告)号：CN113532409A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110678238.X
申请日：2021-06-18
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC: G01C19/5776 , B81B7/02
Abstract: 一种高精度数字MEMS陀螺控制系统，包括驱动模态闭环控制环路，检测模态闭环控制环路、调制解调信号相位闭环控制环路，使系统可始终跟随陀螺谐振频率变化，通过温补后的驱动模态解调信号相位调整值φ1、驱动模态调制信号相位调整值φ2、检测模态解调信号相位调整值φ3、检测模态调制信号调整值φ4对两模态调制解调信号的相位分别进行调整，通过此系统，解决了当前陀螺控制系统中调制解调信号相位误差对陀螺仪检测精度的影响，大大提高MEMS陀螺仪性能指标。
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公开(公告)号：CN106289209B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201610587305.6
申请日：2016-07-22
Applicant: 北京时代民芯科技有限公司 , 北京微电子技术研究所
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供了一种适用于宽量程应用下的振动结构陀螺仪的控制方法和控制系统，选定能够满足要求的振动结构陀螺仪的第一模态振幅的设定值V0，作为零角速率输入时第一模态的目标振幅；选定角速率阈值Ωth；依据输入角速率的大小选择不同的工作模式。使其能够满足大量程工作时的性能需求，同时又不降低小量程应用时的精度。本发明满足了众多应用领域中对于宽量程工作的需求，提供的振动结构陀螺仪控制系统具有同样的技术效果。
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