公开(公告)号：CN102096136A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010611624.9

申请日：2010-12-17

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 刘江 ,  秦素然 ,  高修涛 ,  王周好 ,  王俊杰 ,  石建民 ,  范汉超

IPC: G02B5/22 ,  G02B1/10 ,  B32B9/04 ,  B32B17/00

Abstract: 空间用光学石英玻璃耐辐照滤紫外薄膜及制备方法，包括石英玻璃基片和多层膜，多层膜通过真空热蒸发镀膜法和磁控溅射镀膜法镀在石英玻璃基片上，所述的多层膜为L1层/H层/L2层结构，L1层为SiO2层或SiO层，L2层为SiO2层或SiO层，H层为CeO2层或ZnO层。本发明采用石英玻璃基片和多层膜复合结构，提高了材料的耐辐照性能，辐照试验结果表明：采用普通石英加薄膜的材料的耐辐照性能远远优于掺杂石英，经过5×108Rad(Si)累计剂量的辐照后在工作波段(400～1000nm)光谱透过率平均值T≥90％，掺杂材料为T≥70％。