一种基于光子晶体的多通道探测器

    公开(公告)号:CN114664959B

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202210255542.8

    申请日:2022-03-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于光子晶体的多通道探测器,包括:衬底;在衬底的顶部本征层内制作有周期性空气孔排列形成的光子晶体,顶部本征层上选择生长两种不同的吸收材料;在顶部本征层和吸收材料一上溅射形成N电极和P电极,在吸收材料二的两侧分别注入离子形成p型掺杂区和n型掺杂区,在p型掺杂区上形成P+欧姆接触电极,在n型掺杂区上形成N+欧姆接触电极;两组P电极与N电极之间形成电势差,实现光电转换。本发明多通道探测器的结构设计灵活,通过光子晶体的陷光效应提高对光的捕获率,便于与现有光通信器件集成,可实现光缓存;同时,通过多通道探测不同波长的光,实现波分复用的光传输系统,提高了探测器吸收效率。

    一种基于光子晶体的多通道探测器

    公开(公告)号:CN114664959A

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN202210255542.8

    申请日:2022-03-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于光子晶体的多通道探测器,包括:衬底;在衬底的顶部本征层内制作有周期性空气孔排列形成的光子晶体,顶部本征层上选择生长两种不同的吸收材料;在顶部本征层和吸收材料一上溅射形成N电极和P电极,在吸收材料二的两侧分别注入离子形成p型掺杂区和n型掺杂区,在p型掺杂区上形成P+欧姆接触电极,在n型掺杂区上形成N+欧姆接触电极;两组P电极与N电极之间形成电势差,实现光电转换。本发明多通道探测器的结构设计灵活,通过光子晶体的陷光效应提高对光的捕获率,便于与现有光通信器件集成,可实现光缓存;同时,通过多通道探测不同波长的光,实现波分复用的光传输系统,提高了探测器吸收效率。

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