公开(公告)号：CN118162159A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202410274026.9

申请日：2024-03-11

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 刘本东 ,  田浩 ,  何鑫 ,  秦宏业 ,  杨佳慧

IPC: B01J23/89 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  B01J19/00 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明涉及化学催化的自驱动锥管形微马达及其制备方法。微马达的制作方法是在牺牲层上按顺序倾斜沉积预应力矩形纳米膜，纳米膜只在一个边长方向存在厚度梯度，形成楔形的厚度。而在在垂直于这个边长方向上是等厚的。随后沿着垂直于纳米膜的厚度梯度方向溶解牺牲层使纳米膜释放，在应变梯度的作用下纳米膜自卷曲生成锥管形微马达。该方法通过调整纳米膜沉积时的倾斜角度，可实现对其锥形角的灵活调节，也可通过改变纳米膜的面积和厚度，调整锥管的长度和直径。微马达利用催化过氧化氢产生的气泡推动其运动。这种化学催化的自驱动锥形微马达有效地提高了微马达的运动性能且具有一定的输送能力，在环境修复和药物输送等方面具有广阔的前景。