公开(公告)号：CN110277418A

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201910546230.0

申请日：2019-06-21

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 周航 ,  王娅

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明实施例提供了一种基于钙钛矿光敏材料的图像传感器的像素单元及其制备方法，所述光敏像素单元包括金属氧化物薄膜晶体管与有机无机杂化钙钛矿光电二极管两部分，所述金属氧化物薄膜晶体管包括基础衬底、栅极金属电极、栅极绝缘层、金属氧化物半导体薄膜、源漏金属电极、二氧化硅保护层、疏水层薄膜，所述有机无机杂化钙钛矿光电二极管包括氧化铟锡ITO电极、图形电子传输层、有机无机杂化钙钛矿材料层、电荷传输层、金属电极。

公开(公告)号：CN110277418B

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201910546230.0

申请日：2019-06-21

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 周航 ,  王娅

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明实施例提供了一种基于钙钛矿光敏材料的图像传感器的像素单元及其制备方法，所述光敏像素单元包括金属氧化物薄膜晶体管与有机无机杂化钙钛矿光电二极管两部分，所述金属氧化物薄膜晶体管包括基础衬底、栅极金属电极、栅极绝缘层、金属氧化物半导体薄膜、源漏金属电极、二氧化硅保护层、疏水层薄膜，所述有机无机杂化钙钛矿光电二极管包括氧化铟锡ITO电极、图形电子传输层、有机无机杂化钙钛矿材料层、电荷传输层、金属电极。

公开(公告)号：CN112201673A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN202010966121.7

申请日：2020-09-15

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 周航 ,  向犇 ,  邹涛隅 ,  王娅

IPC: H01L27/30 ,  H01L25/16 ,  H01L29/786 ,  H01L51/42

Abstract: 本发明实施例提供一种钙钛矿光电探测器，其特征在于，所述探测器包括双栅极金属氧化物薄膜晶体管和钙钛矿光电二极管，所述双栅极金属氧化物薄膜晶体管具有栅极，所述钙钛矿光电二极管具有电极，所述双栅极金属氧化物薄膜晶体管的栅极与所述钙钛矿光电二极管的电极相连接。本发明的探测器结合了双栅极金属氧化物薄膜晶体管和钙钛矿材料的优点，大幅度提高了光探测器在弱光探测方面的性能。