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发明公开
一种压电薄膜柔性触觉传感器及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118624084A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410693380.5

申请日：2024-05-31

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 张敏 , 朱婕菲

IPC: G01L5/167

Abstract: 本申请涉及一种压电薄膜触觉传感器，包括：柔性衬底；位于柔性衬底上的第一压电薄膜结构，包括：第一上电极；第一压电薄膜；第一下电极；位于柔性衬底上的第二压电薄膜结构，包括：第二上电极；第二压电薄膜；第二下电极；其中，第一压电薄膜和第二压电薄膜的切向不同，第一压电薄膜结构和第二压电薄膜结构配置为分别检测施加在柔性触觉传感器上的法向应力和剪切应力。本申请提出的压电薄膜触觉传感器能够实现同时对法向应力和剪切应力的无串扰检测。本申请还提出了一种压电薄膜柔性触觉传感器的制备方法。

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