公开(公告)号：CN105984862B

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201510085610.0

申请日：2015-02-16

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 张敏 ,  吴玉翠

IPC: C01B32/16 ,  B82Y30/00

Abstract: 本申请涉及一种用于生长碳纳米管的方法，包括：制备表面覆盖有纳米颗粒的衬底；以所述纳米颗粒作为刻蚀掩模，对所述衬底进行刻蚀；将所述纳米颗粒从所述衬底上去除；在所述衬底上淀积催化剂；以及在淀积有催化剂的所述衬底上生长碳纳米管。

公开(公告)号：CN105984862A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201510085610.0

申请日：2015-02-16

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 张敏 ,  吴玉翠

IPC: C01B31/02 ,  B82Y30/00

Abstract: 本申请涉及一种用于生长碳纳米管的方法，包括：制备表面覆盖有纳米颗粒的衬底；以所述纳米颗粒作为刻蚀掩模，对所述衬底进行刻蚀；将所述纳米颗粒从所述衬底上去除；在所述衬底上淀积催化剂；以及在淀积有催化剂的所述衬底上生长碳纳米管。