公开(公告)号：CN103353626A

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：CN201310233914.8

申请日：2013-06-13

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 肖登 ,  苏光耀 ,  刘传鸿 ,  张昭宇

IPC: G02B1/11

CPC classification number: G02B1/118

Abstract: 本申请公开了一种三维光栅抗反射结构和元器件，包括具有第一侧面基底和一个密排光栅结构，光栅基本单元分为两部分，第一部分露出在外界环境中，第二部分从基底的第一侧面埋入基底，多个基本单元紧密排列成微纳结构阵列，基本单元的第一部分的平行于第一侧面的截面的面积随截面到第一侧面的距离的逐渐增加而逐渐减小，基本单元的第二部分的平行于第一侧面的截面的面积也随截面到第一侧面的距离的逐渐增加而逐渐减小，光栅材料的折射率介于外界环境和基底材料的折射率之间。本申请通过在微纳光电元器件的光照层表面埋入紧密排列成微纳结构阵列的三维光栅，形成三维光栅抗反射结构功能涂层，可提高微纳光电元器件对特定波长范围入射光的透射率。

公开(公告)号：CN103353626B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201310233914.8

申请日：2013-06-13

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 肖登 ,  苏光耀 ,  刘传鸿 ,  张昭宇

IPC: G02B1/118

CPC classification number: G02B1/118

Abstract: 本申请公开了一种三维光栅抗反射结构和元器件，包括具有第一侧面基底和一个密排光栅结构，光栅基本单元分为两部分，第一部分露出在外界环境中，第二部分从基底的第一侧面埋入基底，多个基本单元紧密排列成微纳结构阵列，基本单元的第一部分的平行于第一侧面的截面的面积随截面到第一侧面的距离的逐渐增加而逐渐减小，基本单元的第二部分的平行于第一侧面的截面的面积也随截面到第一侧面的距离的逐渐增加而逐渐减小，光栅材料的折射率介于外界环境和基底材料的折射率之间。本申请通过在微纳光电元器件的光照层表面埋入紧密排列成微纳结构阵列的三维光栅，形成三维光栅抗反射结构功能涂层，可提高微纳光电元器件对特定波长范围入射光的透射率。