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公开(公告)号:CN109402738A
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201811608232.X
申请日:2018-12-27
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
Abstract: 本发明公开了一种可控悬浮晶体生长反应釜,包括反应釜体、籽晶和设置在该反应釜体内的坩埚,所述坩埚内装载有反应溶液,所述籽晶设于反应溶液内,还包括位于坩埚内的悬浮装置,所述籽晶与所述悬浮装置连接,所述悬浮装置可在反应溶液内上升或下降以调整所述籽晶在反应溶液内的位置,与现有技术相比,本发明通过增加了悬浮装置,悬浮装置能够在反应溶液中实现上浮或下沉动作,籽晶装设在悬浮装置上,实际应用中,通过调节悬浮装置在反应溶液中的位置,籽晶可以随悬浮装置连动而上浮或下沉到反应溶液内任意位置,由此可根据生长过程调整籽晶在反应溶液中的位置,有利于籽晶生长的各方面可控,保证籽晶一直处在最佳的反应溶液环境,进而大大加速晶体材料的生长效率和获得质量较佳的晶体材料。
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公开(公告)号:CN110491978B
公开(公告)日:2024-04-26
申请号:CN201910886342.0
申请日:2019-09-19
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
Abstract: 本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种LED芯片结构及其制备方法、应用LED芯片结构的巨量转移方法,本发明的LED芯片结构包括衬底和发光单元,发光单元与衬底连接,还包括钝化层和欧姆接触层,发光单元与衬底连接处设有金属层,钝化层围设于发光单元四周、且钝化层与金属层连接,欧姆接触层包设于钝化层、且欧姆接触层与发光单元连接,本发明提供的LED芯片结构,设计合理,在巨量转移过程中,无需识别LED芯片的电极,减小对位难度,方便转移;本发明的制备方法,工艺简单,制备容易,且制得的LED芯片结构紧凑合理,便于进行巨量转移;本发明提供的应用LED芯片结构的巨量转移方法,步骤操作简单,对位容易,巨量转移方便。
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公开(公告)号:CN109326706A
公开(公告)日:2019-02-12
申请号:CN201811094774.X
申请日:2018-09-19
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
IPC: H01L33/62
CPC classification number: H01L33/62 , H01L33/641 , H01L2933/0066
Abstract: 一种基于石墨烯合金线的LED封装方法,包括步骤:清洗LED支架并烘干;然后将解冻后固晶胶水涂覆在LED支架表面,将LED晶片放置于涂有固晶胶水的LED支架上;将LED支架放入LED烤箱进行烘烤固定,烘烤完后进行拉力测试;选取石墨烯合金线作为引线,将引线的一端键合在LED晶片电极上,将引线另一端键合在LED支架上,实现将LED晶片的正负极与LED支架的正负极电性连接;选择好荧光粉,在焊完线后的LED支架进行点胶封装;将点完荧光粉胶的LED支架放进烤箱中,进行烤干固化,同时对LED晶片进行热老化。本发明不仅制造成本低、价格便宜,而且具有优异的导电性能、极高的强度与柔韧性、非常好的热传导性能。
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公开(公告)号:CN110491811B
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN201910886765.2
申请日:2019-09-19
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
Abstract: 本发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种可调节光强型激光剥离装置,包括剥离室和激光器,剥离室顶部设有光学窗口,剥离室底部设有样品托盘装置,还包括光强调节装置,光强调节装置装设于剥离室内,光强调节装置位于样品托盘装置上方,激光剥离时,激光器发出的激光经光学窗口进入剥离室,进入剥离室的激光经光强调节装置调节激光强度后,再照射至样品托盘装置的待剥离样品,进行激光剥离,本发明通过调整激光光强,形成光强的强弱分布,实现样品表面光强可调,有效控制激光剥离过程,避免样品炸裂。
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公开(公告)号:CN110594702A
公开(公告)日:2019-12-20
申请号:CN201910880317.1
申请日:2019-09-18
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
IPC: F21V9/08 , F21V9/32 , F21V9/40 , F21V13/14 , F21Y115/30
Abstract: 本发明涉及LD技术领域,具体涉及一种基于LD的双色温照明装置及其制备方法,包括外壳、LD光源和电源,LD光源与电源电性连接,还包括热沉、活动反光单元和双色荧光单元,热沉装设于壳体内侧底部,双色荧光单元装设于壳体内侧顶部,LD光源贴合热沉设置,活动反光单元设于LD光源与双色荧光单元之间,热沉、LD光源、活动反光单元和双色荧光单元的中心位于同一中心轴线,本发明使用LD光源,其具有体积小,光线平行度高,可以很好的减少光线损失,旋转反光单元可以改变激光方向,从而实现色温调整,使用效果好;本发明提供的制备方法,其工艺简单,容易制造,且制得的照明装置使用效果好。
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公开(公告)号:CN109652859B
公开(公告)日:2024-04-26
申请号:CN201811608221.1
申请日:2018-12-27
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
Abstract: 本发明涉及一种光气耦合晶体生长装置,包括反应釜体、激光光源、坩埚和籽晶,籽晶设于坩埚内,坩埚一侧开设有坩埚通光口,激光光源通过坩埚通光口以切向位置射入坩埚内、并在坩埚内以回音壁传播模式传播,与现有技术相比,本发明的激光光源从坩埚一侧以切向位置射入坩埚内,激光光源以回音壁传播模式沿坩埚内壁传播,促使输入的激光光源与氮气充分耦合,高效激发更多的氮电离,从而加速氮溶入反应溶液中,提高反应溶液中的氮含量,进而大大提升晶体生长效率。
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公开(公告)号:CN110491811A
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201910886765.2
申请日:2019-09-19
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
Abstract: 本发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种可调节光强型激光剥离装置,包括剥离室和激光器,剥离室顶部设有光学窗口,剥离室底部设有样品托盘装置,还包括光强调节装置,光强调节装置装设于剥离室内,光强调节装置位于样品托盘装置上方,激光剥离时,激光器发出的激光经光学窗口进入剥离室,进入剥离室的激光经光强调节装置调节激光强度后,再照射至样品托盘装置的待剥离样品,进行激光剥离,本发明通过调整激光光强,形成光强的强弱分布,实现样品表面光强可调,有效控制激光剥离过程,避免样品炸裂。
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公开(公告)号:CN109652859A
公开(公告)日:2019-04-19
申请号:CN201811608221.1
申请日:2018-12-27
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
Abstract: 本发明涉及一种光气耦合晶体生长装置,包括反应釜体、激光光源、坩埚和籽晶,籽晶设于坩埚内,坩埚一侧开设有坩埚通光口,激光光源通过坩埚通光口以切向位置射入坩埚内、并在坩埚内以回音壁传播模式传播,与现有技术相比,本发明的激光光源从坩埚一侧以切向位置射入坩埚内,激光光源以回音壁传播模式沿坩埚内壁传播,促使输入的激光光源与氮气充分耦合,高效激发更多的氮电离,从而加速氮溶入反应溶液中,提高反应溶液中的氮含量,进而大大提升晶体生长效率。
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公开(公告)号:CN109440189B
公开(公告)日:2024-01-30
申请号:CN201811615323.6
申请日:2018-12-27
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
Abstract: 本发明涉及一种光调制局部加强的晶体生长装置,包括反应釜、激光光源、设置在反应釜内的坩埚、装载在坩埚内反应溶液、浸在反应溶液内的籽晶以及光束整型元器件,反应釜设有入射窗口,激光光源发出的光束通过入射窗口射入坩埚内,光束整型元器件设于入射窗口与籽晶之间,通过光束整型元器件可将光束汇聚在籽晶的局部位置或通过光束整型元器件可减弱籽晶局部位置的光束,与现有技术相比,本发明增设有光束整型元器件,激光光源发出的光束通过入射窗口射入坩埚内,光束整型元器件可汇聚或减弱光束,光束通过光束整型元器件后在籽晶背面形成明暗区域,从而实现籽晶局部位置的光强度和温度调整,有效局部地增强或减弱晶体生长速率。
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公开(公告)号:CN110491978A
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201910886342.0
申请日:2019-09-19
Applicant: 北京大学东莞光电研究院
Abstract: 本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种LED芯片结构及其制备方法、应用LED芯片结构的巨量转移方法,本发明的LED芯片结构包括衬底和发光单元,发光单元与衬底连接,还包括钝化层和欧姆接触层,发光单元与衬底连接处设有金属层,钝化层围设于发光单元四周、且钝化层与金属层连接,欧姆接触层包设于钝化层、且欧姆接触层与发光单元连接,本发明提供的LED芯片结构,设计合理,在巨量转移过程中,无需识别LED芯片的电极,减小对位难度,方便转移;本发明的制备方法,工艺简单,制备容易,且制得的LED芯片结构紧凑合理,便于进行巨量转移;本发明提供的应用LED芯片结构的巨量转移方法,步骤操作简单,对位容易,巨量转移方便。
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