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公开(公告)号:CN1194387C
公开(公告)日:2005-03-23
申请号:CN03109609.3
申请日:2003-04-09
IPC: H01L21/265 , H01L21/66 , H01L21/70 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供了一种包含剂量效应的离子注入高速模拟方法,是将分裂方法和剂量效应相结合,具体是虚离子、实离子交替注入模拟,直至完成所有实离子的注入。本发明的方法一共只进行一次模拟实验,注入离子被人为地划分为实离子和虚离子,实离子模拟级联碰撞,不断产生注入过程中的缺陷分布;虚离子模拟注入的射程分布,不必跟踪级联碰撞,亦不产生注入靶材料的缺陷分布。本发明的模拟方法,离子注入的射程分布可以很好地被模拟,模拟结果很好地符合SIMS的实验结果;对离子注入的模拟不但可以保持高精度,而且还可以实现高速高效模拟;同时由于本发明的模拟方法引入了缺陷产生,得到的缺陷分布还可以应用后续的退火模拟,并最终实现完全的工艺仿真。
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公开(公告)号:CN1448991A
公开(公告)日:2003-10-15
申请号:CN03109609.3
申请日:2003-04-09
IPC: H01L21/265 , H01L21/66 , H01L21/70 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供了一种包含剂量效应的离子注入高速模拟方法,是将分裂方法和剂量效应相结合,具体是虚离子、实离子交替注入模拟,直至完成所有实离子的注入。本发明的方法一共只进行一次模拟实验,注入离子被人为地划分为实离子和虚离子,实离子模拟级联碰撞,不断产生注入过程中的缺陷分布;虚离子模拟注入的射程分布,不必跟踪级联碰撞,亦不产生注入靶材料的缺陷分布。本发明的模拟方法,离子注入的射程分布可以很好地被模拟,模拟结果很好地符合SIMS的实验结果;对离子注入的模拟不但可以保持高精度,而且还可以实现高速高效模拟;同时由于本发明的模拟方法引入了缺陷产生,得到的缺陷分布还可以应用后续的退火模拟,并最终实现完全的工艺仿真。
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公开(公告)号:CN1661368A
公开(公告)日:2005-08-31
申请号:CN200410003186.2
申请日:2004-02-26
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G01N30/96
Abstract: 本发明公布了一种预测离子注入中的离子分布的方法,包括以下步骤:初始化离子、靶原子材料,并输入和分裂、散射相关的数据文件;在离子的运动过程中,使能量高于离子分裂能量Es的离子分裂成两个虚离子;重复上述离子分裂的步骤,计算体系中所有虚离子的停止位置,得到最终的离子分布,其中,对离子的分裂进行控制,使得更多的离子在高能的条件下运动,从而有更多的离子进入统计稀有区。本发明的方法改进了传统的离子注入预测流程,大幅度地提高了预测结果的精度和可靠性,缩短了预测时间,提高了后续工艺处理的精度。
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公开(公告)号:CN101729589A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200810224416.6
申请日:2008-10-14
Applicant: 北京大学
Inventor: 张进宇
Abstract: 本发明涉及一种提高端到端数据传输速率的方法及系统。该方法的思路为:利用源节点和目的节点之间的多条间接路径和直接路径;在每条路径上创建多个TCP连接,在路径选择过程中,记录所有TCP连接的耗时,关闭连接超时的TCP连接;接收方向所有建立的TCP连接发送探测数据包;中转服务器将收到的探测数据包转给发送方;发送方根据探测包到达的先后顺序决定采用哪些TCP连接并沿探测数据包走过的路径向接收方分块传递文件。该系统包括可用路径获取单元、TCP连接请求单元、可用路径优选单元、探测包发送单元、探测包中转单元及数据发送单元。本发明适用于互联网上端到端的大文件传输,可以有效解决端到端的文件传输速度的提升问题。
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公开(公告)号:CN101729589B
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN200810224416.6
申请日:2008-10-14
Applicant: 北京大学
Inventor: 张进宇
Abstract: 本发明涉及一种提高端到端数据传输速率的方法及系统。该方法的思路为:利用源节点和目的节点之间的多条间接路径和直接路径;在每条路径上创建多个TCP连接,在路径选择过程中,记录所有TCP连接的耗时,关闭连接超时的TCP连接;接收方向所有建立的TCP连接发送探测数据包;中转服务器将收到的探测数据包转给发送方;发送方根据探测包到达的先后顺序决定采用哪些TCP连接并沿探测数据包走过的路径向接收方分块传递文件。该系统包括可用路径获取单元、TCP连接请求单元、可用路径优选单元、探测包发送单元、探测包中转单元及数据发送单元。本发明适用于互联网上端到端的大文件传输,可以有效解决端到端的文件传输速度的提升问题。
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