公开(公告)号：CN112894128B

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN202110148738.2

申请日：2021-02-02

Applicant: 北京大学

Inventor： 闫霖玉 ,  龚旗煌 ,  李焱 ,  李萌

IPC: G02B27/09 ,  B23K26/06 ,  B23K26/082 ,  B23K26/50 ,  B23K26/70

Abstract: 本申请提供了一种耐高温Ⅱ型光波导加工方法、系统及耐高温Ⅱ型双线波导，涉及波导制备技术领域。能够解决如何快速地获得耐高温的Ⅱ型双线波导的问题。所述方法包括：得到高斯光束；利用空间光调制器对高斯光束进行焦场整形，得到沿激光传播方向上呈双焦点光强分布的三维光焦场；利用经过焦场整形后的激光束对待加工样品进行多次原位扫描，得到耐高温低损耗的Ⅱ型双线波导。

公开(公告)号：CN112894128A

公开(公告)日：2021-06-04

申请号：CN202110148738.2

申请日：2021-02-02

Applicant: 北京大学

Inventor： 闫霖玉 ,  龚旗煌 ,  李焱 ,  李萌

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/082 ,  B23K26/50 ,  B23K26/70 ,  G02B27/09

Abstract: 本申请提供了一种耐高温Ⅱ型光波导加工方法、系统及耐高温Ⅱ型双线波导，涉及波导制备技术领域。能够解决如何快速地获得耐高温的Ⅱ型双线波导的问题。所述方法包括：得到高斯光束；利用空间光调制器对高斯光束进行焦场整形，得到沿激光传播方向上呈双焦点光强分布的三维光焦场；利用经过焦场整形后的激光束对待加工样品进行多次原位扫描，得到耐高温低损耗的Ⅱ型双线波导。