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公开(公告)号：CN103193196A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310089315.3
申请日：2013-03-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种三维微纳米结构的组装方法，其步骤包括：采用常规微机电系统工艺方法、纳机电系统工艺方法和聚焦离子束与微机电系统/纳机电系统结合中的一种工艺方法中制作一端是自由端，另一端是固定端的悬臂梁结构；从悬臂梁的自由端到固定端以均匀间距为标准，依次在悬臂梁上通过离子刻蚀的方式设置刻蚀区域；确定控制聚焦离子束的注入剂量，确定与结构弯曲的角度现有的聚焦离子束扫描倾斜的角度，确定与悬臂梁上设置刻蚀区域现有的聚焦离子束扫描的间距；从悬臂梁的自由端第一个刻蚀区域开始依次用聚焦离子束对各刻蚀区域进行刻蚀，使整个悬臂梁形成向下卷曲的螺旋、折叠、正弦形、发条等结构。本发明可以广泛用于纳米螺旋、纳米管、折叠、正弦形、发条等结构的制作过程中。
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公开(公告)号：CN103193196B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310089315.3
申请日：2013-03-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种三维微纳米结构的组装方法，其步骤包括：采用常规微机电系统工艺方法、纳机电系统工艺方法和聚焦离子束与微机电系统/纳机电系统结合中的一种工艺方法中制作一端是自由端，另一端是固定端的悬臂梁结构；从悬臂梁的自由端到固定端以均匀间距为标准，依次在悬臂梁上通过离子刻蚀的方式设置刻蚀区域；确定控制聚焦离子束的注入剂量，确定与结构弯曲的角度现有的聚焦离子束扫描倾斜的角度，确定与悬臂梁上设置刻蚀区域现有的聚焦离子束扫描的间距；从悬臂梁的自由端第一个刻蚀区域开始依次用聚焦离子束对各刻蚀区域进行刻蚀，使整个悬臂梁形成向下卷曲的螺旋、折叠、正弦形、发条等结构。本发明可以广泛用于纳米螺旋、纳米管、折叠、正弦形、发条等结构的制作过程中。
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