公开(公告)号：CN119124336A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202411249928.3

申请日：2024-09-06

Applicant: 北京大学

Inventor： 齐霄雨 ,  张楠 ,  杨子睿 ,  赵妍 ,  王贝宁 ,  高成臣 ,  杨振川

IPC: G01H3/00 ,  G01H11/06

Abstract: 本发明公开了一种灵敏度增益电极阵列电化学质点振速传感器及其实现方法。本发明设置增益电极阵列，能够大幅提高器件的灵敏度；每一个增益电极分别串联相应的开关连接至零电位，能够调节器件的量程，通过接入不同数量的增益电极，量程也有所不同，能够适应不同的应用场景；本发明提高了电解液的利用率，能够更为有效的利用远离芯片处的电解液，有效提高阳极表面离子浓度；对于电化学原理的振动检‑波器或水听器等设备具有通用性，在无需增加额外工艺步骤的情况下就能够有效提高设备灵敏度；能够降低器件高频噪声、改善高频噪声曲线的走向，对于水下应用场景具有很大的意义；本发明成本低廉，增益效果突出，并且能够叠加使用进一步提高灵敏度。