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公开(公告)号：CN116469837A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310246317.2
申请日：2023-03-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本申请属于传感器技术领域，具体涉及一种键合结构及其形成方法与MEMS传感器、可穿戴设备。本申请中的键合结构包括：第一晶圆和第二晶圆；第一晶圆、第二晶圆之间设有至少一组键合区域与至少两组错位结构，错位结构位于键合区域两侧；键合区域包括形成于第一晶圆表面的铝键合层、形成于第二晶圆表面的锗键合层，锗键合层与铝键合层键合接触；错位结构包括位于铝键合层两侧的凸起，及位于锗键合层两侧的沟槽，凸起伸入沟槽形成错位结构。解决了现有传感器，尤其是压电MEMS传感器中的铝锗共晶键合存在共晶流动和延展现象导致的键合工艺窗口以及均匀性难以控制，及铝锗键合精细度不足、尺寸大等问题。包含该键合结构的压电MEMS传感器在可穿戴设备中具备较好应用前景。
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公开(公告)号：CN118950439A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410944044.3
申请日：2024-07-15
Applicant: 北京大学
Abstract: 本申请公开了一种超声换能器及光声系统。该超声换能器，包括基底层以及沿着背离所述基底层的方向依次层叠设置的底电极层、压电材料层和顶电极层；所述顶电极层上开设有沿着背离所述基底层的方向贯穿所述顶电极层的孔洞。本申请实施例的超声换能器，适用于微型光声系统，其能够在不使用光学棱镜等体积庞大的设备的情况下，实现光路和声路重合，得到性能良好的超声信号，通过该超声换能器实现具有良好接收性能的光声系统，能够解决相关技术中光声系统体积和质量庞大的问题。
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公开(公告)号：CN116373460A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310301029.2
申请日：2023-03-24
Applicant: 北京大学
Abstract: 本申请属于喷墨打印技术和集成电路微纳系统技术领域，具体涉及一种MEMS压电打印喷头、打印装置及制备喷头的方法。该MEMS压电打印喷头包含盖板，盖板具备第一主面与第二主面，第一主面设有沟槽，第二主面设有压电驱动部件；该喷头还包含底板，底板上设有进墨孔、第一流道、第二流道，及与第二流道相邻的喷孔，第二流道具备远离喷孔的进口端及靠近喷孔的出口端，第二流道的宽度自进口端向出口端延伸时依次递减；盖板与底板围合形成喷头，沟槽形成压力腔，第一流道形成储墨腔，第二流道形成阻尼腔。包含该结构的MEMS压电打印喷头能实现持续稳定流量的喷墨，阻尼腔可以降低流阻，增加墨滴喷出速度，在降低喷头出现堵塞的概率的同时也降低了喷头的功耗，其可进一步的形成高密度布置的喷头阵列，在包装应用、印刷电子、显示和生物打印等工业市场或其他消费类应用市场具备较好应用前景。
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公开(公告)号：CN116001447A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310035008.0
申请日：2023-01-10
Applicant: 北京大学
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明属于微加工技术领域，具体涉及一种压电式打印喷头及其制备方法。本发明中的压电式打印喷头的制备方法包括准备盖片衬底，盖片衬底包括主体层，利用感应耦合等离子体‑化学气相沉积法，在主体层的一侧制备耗尽层，准备底片衬底，将底片衬底与耗尽层在预设温度下通过阳极键合的方式连接为一体，并形成压电式打印喷头，预设温度为300℃‑400℃。通过使用本技术方案中的压电式打印喷头的制备方法，将底片衬底与耗尽层在预设温度下通过阳极键合的方式连接为一体，预设温度为300℃‑400℃，能够使得制备压电式打印喷头的制备流程中的工艺温度处于较低温度，进而使键合工艺能够兼容盖片衬底的压电层材料。
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公开(公告)号：CN119867822A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411940900.4
申请日：2024-12-26
Abstract: 本申请涉及压电超声换能器领域的一种基于钡钙锆钛材料的内窥镜超声换能器探头及其制备方法，所述内窥镜超声换能器探头包括微机械超声换能器阵列，微机械超声换能器阵列包括多个超声单元；每个超声单元均包括衬底层、底电极、压电层和顶电极，底电极、压电层和顶电极依次覆盖于衬底层一侧的表面，衬底层另一侧的表面形成有背腔，压电层为BCZT材料。本申请利用半导体技术，基于钡钙锆钛材料形成超声单元，由多个超声单元阵列排布形成微机械超声换能器阵列，可实现内窥超声换能器探头的自发自收功能，并能够实现内窥镜超声换能器探头的高一致性、微小型和精密频率控制，使得内窥镜超声换能器探头具备高分辨率和高均一性的压电性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117958776A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410021976.0
申请日：2024-01-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本公开提出一种血压监测装置、方法、血压监测设备及存储介质，该血压监测装置包括：激光发射设备、声波信号接收设备以及信号处理设备；激光发射设备用于发射激光，激光透过声波信号接收设备照射在生物体上；声波信号接收设备用于接收声波信号，以及将声波信号发送给信号处理设备；声波信号是生物体在吸收激光时发出的；信号处理设备用于基于接收到的声波信号确定血压信息；其中，声波信号接收设备为透明结构，激光发射设备的发射端和声波信号接收设备的接收端处于同一直线上。本公开实施例能够有效提高血压的监测精度。
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公开(公告)号：CN116854026A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310729121.9
申请日：2023-06-19
Applicant: 北京大学
Abstract: 本申请实施例公开了一种PMUT接收阵列的制备方法和系统，所述方法包括：将硅片作为PMUT的基底；对硅片进行底电极与压电层的沉积处理；对顶电极进行沉积和图案化处理；对压电层进行刻蚀和图案化处理；沉积金属导线层和电板，并对电板进行图案化处理；采用深反应离子刻蚀DRIE制作空腔，选择SOI硅片基底以及二氧化硅作为DRIE刻蚀的停止层。能够实现大带宽PMUT接收阵的制备，有助于提高现有三维成像设备分辨率和成像精度。
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公开(公告)号：CN116494647A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310376214.8
申请日：2023-04-10
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种喷墨打印装置和压电式喷墨打印机，旨在解决现有的喷墨打印装置中的喷墨打印单元之间声学干扰严重的技术问题。喷墨打印装置包括：供墨通道；至少二个喷墨打印单元，至少二个喷墨打印单元彼此平行且间隔排列，至少二个喷墨打印单元均与供墨通道连通，每个喷墨打印单元均包括：压力腔室；限流腔室，限流腔室设置在供墨通道和压力腔室之间；隔离腔室，隔离腔室设置在供墨通道和限流腔室之间，压力腔室依次通过限流腔室和隔离腔室与供墨通道连通，隔离腔室的沿垂直于长度方向的截面面积大于限流腔室的沿垂直于长度方向的截面面积；压电驱动模块，压电驱动模块连接至压力腔室，压力腔室在压电驱动模块的驱动下产生声波。
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公开(公告)号：CN119861841A
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202411755646.0
申请日：2024-12-03
Applicant: 北京大学
Abstract: 本申请涉及触控领域，公开了一种触控系统和电子设备，包括：触控模块和控制模块；触控模块包括从上至下依次接触的玻璃层、第一氧化铟锡电极层、聚偏二氟乙烯层和第二氧化铟锡电极层；触控模块，用于通过振动产生超声波，接收回波信号并产生电场；控制模块，用于生成触发触控模块振动的波信号，发送至触控模块；根据电场确定电荷；根据回波信号和电荷确定触控信息。触控模块重量轻；通过第一氧化铟锡电极层、聚偏二氟乙烯层和第二氧化铟锡电极层产生超声波并接收超声回波信号，从而使触控系统更简洁，方便系统集成；触控模块还可以产生电场，通过控制模块可以根据电场确定电荷，并与超声回波信号一起确定触控信息，能够提升灵敏度和准确性。
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