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公开(公告)号：CN107470117B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201710662141.3
申请日：2017-08-04
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明提供了一种带有热管散热器的超磁致伸缩超声致动器。包括热管散热器和超磁致伸缩超声致动器，热管散热器包括热管和翅片，超磁致伸缩超声致动器包括：外壳上部、外壳下部、Terfenol‑D棒材、导杆、导磁片和导磁套。本发明采用Terfenol‑D棒材套接热管，通过在Terfenol‑D棒材和热管之间注入的绝缘导热胶把热量从Terfenol‑D棒材传向翅片的方式来限制高频温升，热管冷端与翅片相贴合，在外壳上部以及外壳下部的外表面均布置铜翅片以扩大散热面积实现散热，翅片与超磁致伸缩超声致动器外表面填充导热胶，保障致动器由中心热源向四周散热。本发明能够有效解决超磁致伸缩超声致动器温度过高、散热较差的问题，保障超磁致伸缩超声致动器的输出特性。
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公开(公告)号：CN107443176B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201710662957.6
申请日：2017-08-04
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于磁流变泡沫的超光滑平面抛光方法，磁流变泡沫作为抛光介质，放置在抛光盘上，在外加磁场作用下形成柔性磁刷，抛光头和抛光盘分别带动工件和磁流变泡沫相对运动实现工件的抛光，抛光时磁流变抛光液与泡沫基体在磁场下相互耦合、共同作用提供抛光所需条件，在磁场作用下磁流变抛光液中铁磁性颗粒会形成磁链，磁链嵌入在泡沫基体的微孔中，增大柔性磁刷的有效剪应力，增大材料去除率，由于泡沫基体的存在，既增加了优化抛光性能的变量，又保留传统磁流变抛光的“容没”效应。本发明节省了磁流变抛光液，降低了成本，同时提高了抛光效率，解决了传统磁流变抛光中磁流变抛光液用量大及材料去除率低的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107470117A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710662141.3
申请日：2017-08-04
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明提供了一种带有热管散热器的超磁致伸缩超声致动器。包括热管散热器和超磁致伸缩超声致动器，热管散热器包括热管和翅片，超磁致伸缩超声致动器包括：外壳上部、外壳下部、Terfenol-D棒材、导杆、导磁片和导磁套。本发明采用Terfenol-D棒材套接热管，通过在Terfenol-D棒材和热管之间注入的绝缘导热胶把热量从Terfenol-D棒材传向翅片的方式来限制高频温升，热管冷端与翅片相贴合，在外壳上部以及外壳下部的外表面均布置铜翅片以扩大散热面积实现散热，翅片与超磁致伸缩超声致动器外表面填充导热胶，保障致动器由中心热源向四周散热。本发明能够有效解决超磁致伸缩超声致动器温度过高、散热较差的问题，保障超磁致伸缩超声致动器的输出特性。
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公开(公告)号：CN107443176A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710662957.6
申请日：2017-08-04
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于磁流变泡沫的超光滑平面抛光方法，磁流变泡沫作为抛光介质，放置在抛光盘上，在外加磁场作用下形成柔性磁刷，抛光头和抛光盘分别带动工件和磁流变泡沫相对运动实现工件的抛光，抛光时磁流变抛光液与泡沫基体在磁场下相互耦合、共同作用提供抛光所需条件，在磁场作用下磁流变抛光液中铁磁性颗粒会形成磁链，磁链嵌入在泡沫基体的微孔中，增大柔性磁刷的有效剪应力，增大材料去除率，由于泡沫基体的存在，既增加了优化抛光性能的变量，又保留传统磁流变抛光的“容没”效应。本发明节省了磁流变抛光液，降低了成本，同时提高了抛光效率，解决了传统磁流变抛光中磁流变抛光液用量大及材料去除率低的问题。
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公开(公告)号：CN107363648A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201710670607.4
申请日：2017-08-08
Applicant: 北京交通大学
IPC: B24B1/04
CPC classification number: B24B1/04
Abstract: 本发明提供了一种超磁致伸缩超声振动抛光装置，包括抛光设备、底座、抛光垫、旋转叶片和超磁致伸缩致动器；所述抛光设备和所述底座通过支柱连接，所述抛光垫安置在所述抛光设备上面，所述旋转叶片安置在所述抛光设备底部，所述超磁致伸缩致动器安置在所述底座上面。本发明以超磁致伸缩制动器为驱动方式，抛光盘高频振动能够提高抛光效率，实现了对硅片等脆硬半导体材料的超精密CMP抛光与超声振动复合抛光，降低了工件表面的压力，使工件表面的变质层厚度降低一倍，改善了抛光表面的质量。
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公开(公告)号：CN207223558U
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201720982917.5
申请日：2017-08-08
Applicant: 北京交通大学
IPC: B24B1/04
Abstract: 本实用新型提供了一种超磁致伸缩超声振动抛光装置，包括抛光设备、底座、抛光垫、旋转叶片和超磁致伸缩致动器；所述抛光设备和所述底座通过三根支柱连接，所述抛光垫安置在所述抛光设备上面，所述旋转叶片安置在所述抛光设备底部，所述超磁致伸缩致动器安置在所述底座上面。本实用新型以超磁致伸缩制动器为驱动方式，抛光盘高频振动能够提高抛光效率，实现了对硅片等脆硬半导体材料的超精密CMP抛光与超声振动复合抛光，降低了工件表面的压力，使工件表面的变质层厚度降低一倍，改善了抛光表面的质量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207287974U
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201720970677.7
申请日：2017-08-04
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本实用新型提供了一种带有热管散热器的超磁致伸缩超声致动器。包括热管散热器和超磁致伸缩超声致动器，热管散热器包括热管和翅片，超磁致伸缩超声致动器包括：外壳上部、外壳下部、Terfenol‑D棒材、导杆、导磁片和导磁套。本实用新型采用Terfenol‑D棒材套接热管，通过在Terfenol‑D棒材和热管之间注入的绝缘导热胶把热量从Terfenol‑D棒材传向翅片的方式来限制高频温升，热管冷端与翅片相贴合，在外壳上部以及外壳下部的外表面均布置铜翅片以扩大散热面积实现散热，翅片与超磁致伸缩超声致动器外表面填充导热胶，保障致动器由中心热源向四周散热。本实用新型能够有效解决超磁致伸缩超声致动器温度过高、散热较差的问题，保障超磁致伸缩超声致动器的输出特性。
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