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公开(公告)号：CN102522176B
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201110426607.2
申请日：2011-12-19
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H01C13/00
Abstract: 本发明提供一种改善负载效应的可计算交直流差电阻，有效改善了可计算交直流差电阻在通电时电阻丝由于温度变化产生的负载效应，提高了可计算交直流差电阻的稳定性；包括同轴的内金属套筒和外金属套筒，电阻丝位于内金属套筒的中心轴线上，电阻丝为单根直线形组合丝，组合丝包括相互对接而成的前段部分和后段部分，前段部分与后段部分具有相反的电阻温度系数，即其中一段为正温度系数而另一段为负温度系数；组合丝的电阻温度曲线的顶点区呈平台状；沿所述外金属套筒的外表面设置有温度控制装置，所述温度控制装置用于根据组合丝的电阻温度系数曲线的平台区控制所述组合丝的工作温度范围。
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公开(公告)号：CN102522176A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110426607.2
申请日：2011-12-19
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H01C13/00
Abstract: 本发明提供一种改善负载效应的可计算交直流差电阻，有效改善了可计算交直流差电阻在通电时电阻丝由于温度变化产生的负载效应，提高了可计算交直流差电阻的稳定性；包括同轴的内金属套筒和外金属套筒，电阻丝位于内金属套筒的中心轴线上，电阻丝为单根直线形组合丝，组合丝包括相互对接而成的前段部分和后段部分，前段部分与后段部分具有相反的电阻温度系数，即其中一段为正温度系数而另一段为负温度系数；组合丝的电阻温度曲线的顶点区呈平台状；沿所述外金属套筒的外表面设置有温度控制装置，所述温度控制装置用于根据组合丝的电阻温度系数曲线的平台区控制所述组合丝的工作温度范围。
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公开(公告)号：CN118130375A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410220231.7
申请日：2024-02-28
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明属于等离子体光谱诊断测试领域，具体涉及沉积反应基团的多光谱综合监测装置及方法。将光谱监测装置进行组装与调试；开启机械泵，对PECVD腔室进行抽真空处理；通过气路向PECVD腔室内供入沉积气体SiH4/He,并开启射频电源，电子获得能量，与沉积气体发生碰撞产生活性粒子，沉积到硅基样片表面完镀膜；关闭射频电源；硅基样片在等离子体作用下已经在PECVD腔室完成镀膜沉积后，将其转移至成分监测腔室，以进行薄膜成分分析；空心阴极发射电子轰击已沉积的硅基样片，使用光纤探头监测硅基样品表面发光区域；将监测到的进入光谱仪分光后由探测器成像，由工控机读出数据。实现光谱监测方法对等离子增强化学气相沉积工艺中非晶氢化硅薄膜组分的监测。
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公开(公告)号：CN202034155U
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201120033833.X
申请日：2011-01-31
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 内附标准基于网络电阻的模拟低值电阻器，包括电流比较仪及其内附标准电阻，内附标准电阻采用网络电阻结构由若干个等值电阻并联或/和串联组成，每一个等值电阻的阻值为10欧或1欧或0.1欧，网络电阻结构中的若干个等值电阻按照精度偏差相互补偿、温度系数的正负相互补偿、漂移的趋势相互补偿的原则配置。网络电阻结构由若干个等值电阻并联组成，误差可以大为减少，精度可以提高至10-6量级，使内附标准电阻的精度明显提高，并使成本大幅度下降。使用本实用新型的内附标准基于网络电阻的模拟低值电阻器，可以保证模拟低值电阻器的高精度和高稳定性，在电子电力工程领域中实现电流以及电压、电阻的精确测量。
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