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公开(公告)号：CN1726429B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200380106274.9
申请日：2003-11-12
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: G03B27/58 , G03B27/60 , G03B27/32 , B29C35/08 , H01L21/461
CPC classification number: G03F7/70875 , B29C33/20 , B29C43/003 , B29C43/021 , B29C43/36 , B29C43/58 , B29C2043/025 , B29C2043/3233 , B29C2043/3488 , B29C2043/5841 , B29D11/00365 , G03B27/62 , G03F7/707
Abstract: 本发明涉及一种卡盘系统(40)和调整基底(26)形状的方法，基底具有对置的第一表面(26b)和第二表面(26a)。这是通过在第一对置表面的不同区域之间建立压力差以减轻第二对置表面的结构扭曲而获得，该扭曲是由于基底上的外力负载而发生。为此目的，卡盘系统包括具有对置的第一面和第二面的卡盘体，两面之间延伸侧面。第一面包括隔开距离的第一(58)和第二(60)支承区域。第一支承区域环绕第一(52)和第二(54)凹进处。第二支承区域环绕第二凹进处，其中与第二凹进处重叠的卡盘体的部分对于具有预定波长的辐射是透明的。第二面和侧面限定外部表面。
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公开(公告)号：CN1809468A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200480017054.3
申请日：2004-05-11
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明揭示一种用来转移模板(26)的方法、系统、保持器(40a)以及组件。设置带有一模板转移保持器的一运动台。该转移保持器适于使制有图形的模具面向运动台。
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公开(公告)号：CN1726429A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200380106274.9
申请日：2003-11-12
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: G03B27/58 , G03B27/60 , G03B27/32 , B29C35/08 , H01L21/461
CPC classification number: G03F7/70875 , B29C33/20 , B29C43/003 , B29C43/021 , B29C43/36 , B29C43/58 , B29C2043/025 , B29C2043/3233 , B29C2043/3488 , B29C2043/5841 , B29D11/00365 , G03B27/62 , G03F7/707
Abstract: 本发明涉及一种卡盘系统(40)和调整基底(26)形状的方法，基底具有对置的第一表面(26b)和第二表面(26a)。这是通过在第一对置表面的不同区域之间建立压力差以减轻第二对置表面的结构扭曲而获得，该扭曲是由于基底上的外力负载而发生。为此目的，卡盘系统包括具有对置的第一面和第二面的卡盘体，两面之间延伸侧面。第一面包括隔开距离的第一(58)和第二(60)支承区域。第一支承区域环绕第一(52)和第二(54)凹进处。第二支承区域环绕第二凹进处，其中与第二凹进处重叠的卡盘体的部分对于具有预定波长的辐射是透明的。第二面和侧面限定外部表面。
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公开(公告)号：CN100455449C
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200480017054.3
申请日：2004-05-11
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明揭示一种用来转移模板(26)的方法、系统、保持器(40a)以及组件。设置带有一模板转移保持器的一运动台。该转移保持器适于使制有图形的模具面向运动台。
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