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公开(公告)号:CN101405087A
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN200780009983.3
申请日:2007-04-02
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: B05D5/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/003 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2043/5833 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及一种通过使用固定纳米印刷模具的模板中的凹槽或孔产生部分真空,在纳米印刷光刻模板附近产生和保持所需环境的方法和系统。
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公开(公告)号:CN1809468A
公开(公告)日:2006-07-26
申请号:CN200480017054.3
申请日:2004-05-11
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明揭示一种用来转移模板(26)的方法、系统、保持器(40a)以及组件。设置带有一模板转移保持器的一运动台。该转移保持器适于使制有图形的模具面向运动台。
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公开(公告)号:CN101710228A
公开(公告)日:2010-05-19
申请号:CN200910211811.5
申请日:2003-07-10
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: B81C1/0046 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明揭示了一种使用一装置(3900)通过平版印刷来形成有图形的基底的工艺,该装置包括一印刷头(3100)、一激活的光源(3500)、一运动平台(3600)、一构有图形的模板(3700)、一印刷头支承件(3910)、一运动平台支承件(3920)、桥架支承件(3930)和一支承台(3940)。
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公开(公告)号:CN101142743A
公开(公告)日:2008-03-12
申请号:CN200680003091.8
申请日:2006-01-12
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: H03K19/094
CPC classification number: H01L21/6875 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/6838 , Y10S977/887
Abstract: 本发明涉及一种夹具系统,包括,一主体,具有一伸出一销钉的表面和具有一限定在其内部的直通通道,以及由围绕着该突起的一接触面限定的一个在该销钉和该接触面之间的沟槽,和其它的部分。在一进一步的实施例里,该主体包括大量的突起。
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公开(公告)号:CN101710228B
公开(公告)日:2012-08-15
申请号:CN200910211811.5
申请日:2003-07-10
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: B81C1/0046 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明揭示了一种使用一装置(3900)通过平版印刷来形成有图形的基底的工艺,该装置包括一印刷头(3100)、一激活的光源(3500)、一运动平台(3600)、一构有图形的模板(3700)、一印刷头支承件(3910)、一运动平台支承件(3920)、桥架支承件(3930)和一支承台(3940)。
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公开(公告)号:CN100485350C
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200380108949.3
申请日:2003-12-12
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: G01M19/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种用于确定基板的特性诸如沾染物的存在与否、形状以及两个间隔的基板之间的空间关系的方法。空间关系包括两个间隔的第一基板与第二基板之间的距离和角度方位。这种技术方法包括在第二基板上形成一个具有与之相关的面积的量的流体。把所述流体量挤压在所述第一基板与第二基板之间而使所述面积的性质发生有效的变化,从而定义变化了的性质。用传感器感测变化了的性质,并根据所述变化了的性质确定所述第一基板和第二基板的特性。
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公开(公告)号:CN1739015A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200380108949.3
申请日:2003-12-12
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: G01M19/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种用于确定基板的特性诸如沾染物的存在与否、形状以及两个间隔的基板之间的空间关系的方法。空间关系包括两个间隔的第一基板与第二基板之间的距离和角度方位。这种技术方法包括在第二基板上形成一个具有与之相关的面积的量的流体。把所述流体量挤压在所述第一基板与第二基板之间而使所述面积的性质发生有效的变化,从而定义变化了的性质。用传感器感测变化了的性质,并根据所述变化了的性质确定所述第一基板和第二基板的特性。
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公开(公告)号:CN101573659A
公开(公告)日:2009-11-04
申请号:CN200680045502.X
申请日:2006-11-30
Applicant: 分子制模股份有限公司
IPC: G03B27/64
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03B27/58
Abstract: 本发明涉及排除位于基板和模具之间的气体的方法和系统,在该基板和模具之间还具有液体。
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公开(公告)号:CN100455449C
公开(公告)日:2009-01-28
申请号:CN200480017054.3
申请日:2004-05-11
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明揭示一种用来转移模板(26)的方法、系统、保持器(40a)以及组件。设置带有一模板转移保持器的一运动台。该转移保持器适于使制有图形的模具面向运动台。
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公开(公告)号:CN1668437A
公开(公告)日:2005-09-14
申请号:CN03816412.4
申请日:2003-07-10
Applicant: 分子制模股份有限公司
CPC classification number: B81C1/0046 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明揭示了一种使用一装置(3900)通过平版印刷来形成有图形的基底的工艺,该装置包括一印刷头(3100)、一激活的光源(3500)、一运动平台(3600)、一构有图形的模板(3700)、一印刷头支承件(3910)、一运动平台支承件(3920)、桥架支承件(3930)和一支承台(3940)。
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