-
公开(公告)号：CN101180324A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200680017257.1
申请日：2006-05-15
Applicant: 出光兴产株式会社
CPC classification number: C08F38/00 , C07C69/732 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供由通式(1)或(19)所示的具有脂环式结构和聚合性基团的聚合性化合物、其聚合物和该聚合性化合物的制备方法以及含有该聚合物的光致抗蚀剂组合物，所述聚合性化合物显示高的基板粘合性、显影时的膨胀降低、且在水中曝光时的吸水量低、抗干蚀性高。
-
公开(公告)号：CN101671287A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910204756.7
申请日：2005-09-21
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C07C323/12 , G03F7/004
CPC classification number: C08F220/38 , C07C323/12 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0397
Abstract: 本发明涉及一种金刚烷衍生物，它是通过使3-羟基-1-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯与亚砜在酸酐中发生反应而制造的，以及含有所述金刚烷衍生物作为构成成分的聚合物的光致抗蚀剂用感光材料。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101495443A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200780028549.X
申请日：2007-07-09
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C07C69/653 , C07C67/11 , C07C67/29 , C07C69/712 , C08F16/24 , C08F20/22 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C67/10 , C07C67/29 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C08F220/24 , G03F7/0046 , G03F7/027 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041 , C07C69/653
Abstract: 本发明提供具有如通式(1)所示结构的、具有含氟取代基(Z)、金刚烷结构以及聚合性基团(A)的聚合性化合物，其制备方法，含有使用该聚合性化合物得到的聚合物的光刻胶组合物、热固性树脂组合物和光固化性树脂组合物。通过使用本发明的含金刚烷结构的聚合性化合物及其树脂组合物，在光刻领域中，在浸没曝光法中，有抑制浸没介质的渗透，且提高干法刻蚀耐性的效果；在纳米压印法中，可以降低与模具的附着，且提高干法刻蚀耐性。
-
公开(公告)号：CN100577630C
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200580003712.8
申请日：2005-02-01
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C07C69/54 , C07C67/29 , C07C303/28 , C07C303/44 , C07C309/66
Abstract: 公开了一种具有通式(I)代表的结构的金刚烷衍生物(I)，一种具有通式(II)代表的结构的金刚烷衍生物(II)，和一种制备这些金刚烷衍生物的方法。一种醇形式的金刚烷化合物与一种磺酰基化合物反应，得到金刚烷衍生物(II)，它随后与醇反应，得到金刚烷衍生物(I)。分别具有通式(I)和通式(II)所代表的结构的金刚烷衍生物(I)和金刚烷衍生物(II)均为新颖的(甲基)丙烯酸金刚烷基酯化合物，可作为单体用于功能树脂，例如照相平版印刷领域中的光敏性树脂。
-
公开(公告)号：CN101027281A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200580032421.1
申请日：2005-09-21
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C07C323/12 , C07C69/013 , C07C69/54 , C07C309/71 , C08F20/28 , C08F20/38 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C08F220/38 , C07C323/12 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供可以作为光刻领域中的感光性树脂等功能性树脂的单体使用的新型金刚烷衍生物及其制造方法。它是具有下述通式(I－a)所示结构的金刚烷衍生物以及使用对应的金刚烷衍生物作为原料而制造上述金刚烷衍生物的方法。式中，R1表示H、CH3或CF3，R2a表示具有杂原子的包括C(碳原子数)1～30烷基、C3～30环烷基或C6～30芳基的烃基，X1和X2各自独立地表示O或S，Y是C1～10烷基、卤原子、OH、SH或由2个Y一起形成的＝O或＝S。k是0～14的整数，m及n是0～2的整数。
-
公开(公告)号：CN101027281B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200580032421.1
申请日：2005-09-21
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C07C323/12 , C07C69/013 , C07C69/54 , C07C309/71 , C08F20/28 , C08F20/38 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C08F220/38 , C07C323/12 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供可以作为光刻领域中的感光性树脂等功能性树脂的单体使用的新型金刚烷衍生物及其制造方法。它是具有下述通式(I-a)所示结构的金刚烷衍生物以及使用对应的金刚烷衍生物作为原料而制造上述金刚烷衍生物的方法。式中，R1表示H、CH3或CF3，R2a表示具有杂原子的包括C(碳原子数)1～30烷基、C3～30环烷基或C6～30芳基的烃基，X1和X2各自独立地表示O或S，Y是C1～10烷基、卤原子、OH、SH或由2个Y一起形成的＝O或＝S。k是0～14的整数，m及n是0～2的整数。
-
公开(公告)号：CN1914147A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200580003712.8
申请日：2005-02-01
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C07C69/54 , C07C67/29 , C07C303/28 , C07C303/44 , C07C309/66
Abstract: 公开了一种具有通式(I)代表的结构的金刚烷衍生物(I)，一种具有通式(II)代表的结构的金刚烷衍生物(II)，和一种制备这些金刚烷衍生物的方法。一种醇形式的金刚烷化合物与一种磺酰基化合物反应，得到金刚烷衍生物(II)，它随后与醇反应，得到金刚烷衍生物(I)。分别具有通式(I)和通式(II)所代表的结构的金刚烷衍生物(I)和金刚烷衍生物(II)均为新颖的(甲基)丙烯酸金刚烷基酯化合物，可作为单体用于功能树脂，例如照相平版印刷领域中的光敏性树脂。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.015 seconds)
