公开(公告)号：CN1926926A

公开(公告)日：2007-03-07

申请号：CN200480042599.X

申请日：2004-04-06

Applicant: 出光兴产株式会社

Inventor： 东海林弘 ,  长崎义和 ,  涉谷忠夫

IPC: H05B33/28 ,  H05B33/14 ,  H05B33/02 ,  H05B33/12 ,  H01B5/14 ,  G09F9/30

CPC classification number: H01L51/0096 ,  H01L27/322 ,  H01L27/3248 ,  H01L51/5088 ,  H01L51/5206 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 目的在于除去存在于CCM基板的阳极表面上的表面不良层，并对阳极表面进行保护，进而防止有机EL元件的驱动电压的上升，维持发光均一性。在基板(12)上层叠进行光的波长变换的CCM层(14)，在该CCM层(14)上形成由IZO构成的阳极(16)。在阳极(16)上采用感应结合型RF等离子支援的磁控管溅射器、用溅射处理层叠由无机化合物构成的表面保护层(18)。作为无机化合物优选SiO2。可以利用溅射处理除去阳极(16)的表面不良层的同时利用无机化合物保持表面不良层被除去的状态。其结果，可以长期维持阳极(16)的电学稳定性，可以提高有机EL显示装置(100)的显示画质。