公开(公告)号：CN117367257A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202311289156.1

申请日：2023-10-08

Applicant: 内蒙古工业大学

Inventor： 龚沛 ,  杜金超 ,  梁志成 ,  王安达 ,  王源 ,  王玉成 ,  刘金星 ,  宋伟 ,  焦佩英

IPC: G01B7/02

Abstract: 本发明涉及一种铁镓铽合金磁致伸缩微位移传感器。为满足超微米位移测量需要。包括依次配置的微位移测量接近装置和配检测线圈及其磁场检测机构的铁镓铽合金磁致伸缩材料部件以及前设钨探针的压电陶瓷；使用应变λ‑磁场H曲线重复性好的材料，制定传感器定标曲线，加工出所述铁镓铽合金磁致伸缩材料部件；通过微位移测量接近装置实现接近被测工件的粗调定位，通过压电陶瓷上钨探针与被测工件之间生产的隧道电流控制微位移传感器与被探测部件的终点距离实现微调定位，通过检测线圈磁场的增加或降低实现铁镓铽合金磁致伸缩材料部件的伸长和缩短，使用基于位置反馈的闭环控制电路来实现铁镓铽合金磁致伸缩材料部件的伸缩定位测量。具有磁致伸缩应变精度高，相应速度快，导电和非导电部件都能测量，能很好地满足超微米微位移测量需要的优点。