公开(公告)号：CN1502722A

公开(公告)日：2004-06-09

申请号：CN200310118044.6

申请日：2003-11-24

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 大城研二 ,  清水寿和 ,  景山宪二

IPC: C23F1/30

Abstract: 本发明提供高精度蚀刻加工以银为主成分的金属薄膜图案、形成良好的图案形状、且实用性良好的蚀刻液组合物。该蚀刻以银为主成分的金属薄膜的蚀刻液组合物由40～50重量％的磷酸、1.5～3.5重量％的硝酸、25～40重量％的醋酸及水混和而成。

公开(公告)号：CN102618872A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201210013092.8

申请日：2012-01-17

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 大城研二 ,  河野良 ,  高桥秀树

IPC: C23F1/18

CPC classification number: C23F1/18

Abstract: 本发明提供一种可以对含铜和铜合金薄膜的金属层积膜图案进行精度良好的加工、可以形成优异的图案形状、并且实用性优异的稳定的液体寿命长的蚀刻液组合物，以及提供使用该蚀刻液组合物的蚀刻方法。本发明涉及使用具有特定组成的、配合磷酸、硝酸、醋酸和水而成的蚀刻液组合物对具有由铜形成的层和由含铜的铜合金形成的层的金属层积膜进行蚀刻的方法、以及其蚀刻液组合物。

公开(公告)号：CN100347344C

公开(公告)日：2007-11-07

申请号：CN200310118044.6

申请日：2003-11-24

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 大城研二 ,  清水寿和 ,  景山宪二

IPC: C23F1/30

Abstract: 本发明提供高精度蚀刻加工以银为主成分的金属薄膜图案、形成良好的图案形状、且实用性良好的蚀刻液组合物。该蚀刻以银为主成分的金属薄膜的蚀刻液组合物由40～50重量%的磷酸、1.5～3.5重量%的硝酸、25～40重量%的醋酸及水混和而成。