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公开(公告)号:CN119566446A
公开(公告)日:2025-03-07
申请号:CN202411887218.3
申请日:2024-12-20
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: B23K3/00 , B23K3/08 , B23K1/00 , B23K101/36
Abstract: 本申请涉及真空测试仪表技术领域,具体而言,涉及一种电容薄膜真空计用高灵敏度金属膜片焊接方法。包括真空腔室、膜片垂直压变调节系统、膜片水平张力调节系统、参考腔圆柱筒、测量腔圆柱筒、焊接膜片以及红外定位仪组成。其中:参考腔圆柱筒、测量腔圆柱筒与焊接膜片组成传感器焊接组件。焊接前,焊接膜片放置于参考腔圆柱筒与测量腔圆柱筒之间,借助红外定位仪完成传感器焊接组件内部各零部件定位后通过水平张力调节系统调节膜片的拉应力,垂直压变调节系统调节参考腔圆柱筒、测量腔圆柱筒与金属膜片的压紧力。完成膜片焊接组件组装、定位和紧固后开启真空钎焊系统,按照设定的真空钎焊工艺使金属膜片按既定张紧力实现高平整度的可靠连接。
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公开(公告)号:CN119688159A
公开(公告)日:2025-03-25
申请号:CN202411641067.3
申请日:2024-11-18
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01L21/00
Abstract: 本发明公开了一种电容薄膜真空计调测装置,可以在真空计完成封装前完成批量化的调试工作,调试效率高,成本可控。该装置中,主真空室抽气组件通过第一抽气连接管路连接主真空室,用于将主真空室压力维持在本底状态;测试室抽气组件通过第二抽气连接管路连接各测试室,用于将测试室压力维持在本底状态;配气组件通过供气管路连接各测试室,用于向测试室供气;测试室根据被测真空计的量程分为不同组,连接对应量程的压力传感器;每个测试室提供1个以上的真空计连接端;每个被测真空计的参考腔通过第一连接件连接波纹管,所有被测真空计对应的波纹管均接入所述主真空室;被测真空计的测量腔通过第二连接件连接对应量程的测试室。
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公开(公告)号:CN119666659A
公开(公告)日:2025-03-21
申请号:CN202411838373.6
申请日:2024-12-13
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G01N7/04
Abstract: 本申请涉及真空测试技术领域,涉及一种NEG吸气性能测试装置,测试单元用于样品装载、密封和预处理等,配气单元用于测试气体逐级降压和供给,抽空单元用于创造测试系统所需的真空环境,真空测量单元用于测量所需腔室的真空度,温控单元用于腔室烘烤和可能需要的NEG激活,安全监测单元用于对有毒有害、易燃易爆气体泄露监测,本申请采用对称结构的双测试工位和易更换的限流元件设计,结构合理紧凑,全金属密封设计使得系统真空度较高,充气回路与测试回路无交叉,提高了腔室和测试气体的纯净度,通过动态定压法或静态定容法实现了NEG产品性能准确与高效的综合性测试和评价,能够全面地反映NEG的吸气性能。
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公开(公告)号:CN119374778A
公开(公告)日:2025-01-28
申请号:CN202411628471.7
申请日:2024-11-14
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种减小感压膜片表面污染的电容压力传感器,该电容压力传感器包括螺旋柱体;螺旋柱体可拆卸地安装于测量腔进气口内;在测量腔进气口与螺旋柱体之间形成螺旋进气通道。上述电容压力传感器通过在测量腔进气口内设置螺旋柱体,被测量气体沿螺旋柱体旋转后进入测量腔体后再与感压膜片接触,使得被测量气体首先通过螺旋柱体,并与其表面发生接触和颗粒附着并凝结在其表面,因此减小了传统电容压力传感器在测量有可凝结挥发物气体时其污染物大量凝结于感压膜片表面的缺点,显著提升了电容压力传感器的测量及计量特性,延长了使用寿命。
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