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公开(公告)号:CN101927877A
公开(公告)日:2010-12-29
申请号:CN201010219457.3
申请日:2010-06-22
Applicant: 信越聚合物株式会社 , 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种大型精密部件收纳容器,具体而言,提供一种能够保持极清洁的状态而保管、输送例如大型薄膜、光掩模或玻璃基板的大型精密部件的、高刚性、轻型且低成本的大型精密部件收纳容器。该大型精密部件收纳容器(1)收纳大型精密部件(4)并具备将该大型精密部件的全体覆盖而嵌合的托盘(3)和罩(2),其中,托盘(3)和罩(2)中的至少托盘(3)由铝、铝合金或镁合金构成。