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公开(公告)号:CN103238130A
公开(公告)日:2013-08-07
申请号:CN201280003659.1
申请日:2012-02-03
Applicant: 信越聚合物株式会社
CPC classification number: G01R1/02 , G01R3/00 , G06F3/044 , G06F2203/04103
Abstract: 本发明具备:成膜工序,在具有透光性的基材(2)的至少一个表面形成透光性导电膜薄膜(11);辅助电极形成工序,在薄膜(11)的至少一部分设定起透明电极(3)作用的电极区域(3a),并以覆盖电极区域(3a)周缘的至少一部分的方式层压电阻低于薄膜(11)的辅助电极(4a);配线形成工序,将一端连接到辅助电极(4a)的配线(4b)层压在薄膜(11)上;抗蚀剂层压工序,以覆盖整个电极区域(3a)和至少一部分辅助电极4a的方式层压抗蚀剂(12);以及导电膜去除工序,去除在具有透光性的基材(2)上形成的薄膜(11)中位于不与抗蚀剂(12)、辅助电极(4a)、以及配线(4b)重叠的位置的薄膜(11)。
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公开(公告)号:CN103238130B
公开(公告)日:2016-06-29
申请号:CN201280003659.1
申请日:2012-02-03
Applicant: 信越聚合物株式会社
CPC classification number: G01R1/02 , G01R3/00 , G06F3/044 , G06F2203/04103
Abstract: 本发明具备:成膜工序,在具有透光性的基材(2)的至少一个表面形成透光性导电膜薄膜(11);辅助电极形成工序,在薄膜(11)的至少一部分设定起透明电极(3)作用的电极区域(3a),并以覆盖电极区域(3a)周缘的至少一部分的方式层压电阻低于薄膜(11)的辅助电极(4a);配线形成工序,将一端连接到辅助电极(4a)的配线(4b)层压在薄膜(11)上;抗蚀剂层压工序,以覆盖整个电极区域(3a)和至少一部分辅助电极4a的方式层压抗蚀剂(12);以及导电膜去除工序,去除在具有透光性的基材(2)上形成的薄膜(11)中位于不与抗蚀剂(12)、辅助电极(4a)、以及配线(4b)重叠的位置的薄膜(11)。
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公开(公告)号:CN105103099A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201480020549.5
申请日:2014-04-10
Applicant: 信越聚合物株式会社
CPC classification number: G06F3/044 , C23F1/00 , C23F4/02 , G06F2203/04103 , G06F2203/04111 , H05K1/09 , H05K3/06 , H05K3/4685 , H05K2201/0108 , H05K2201/0317
Abstract: 本发明的制作感测片用片材,具备:基材;以及形成于该基材的一侧的面的厚度0.01至1.0μm的金属蒸镀层。本发明的制作感测片用片材的制造方法,包括:蒸镀步骤,是使厚度0.01至1.0μm的金属蒸镀层蒸镀于基材的一侧的面。本发明的制作感测片用片材的制造方法中,所述蒸镀优选是真空蒸镀。
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