公开(公告)号：CN107428151A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680018585.7

申请日：2016-02-01

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷義和 ,  佐藤谦司 ,  藤田一也

IPC: B32B37/10 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00 ,  H01L21/683

CPC classification number: B32B37/10 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种在最小化第1工件保持面及第2工件保持面对工件的接触面积的同时，防止第1工件保持面及第2工件保持面随时间的经过而磨损的贴合设备的制造装置。本发明的贴合设备的制造装置，将一对工件分别保持于第1保持部件和第2保持部件上，通过所述第1保持部件和所述第2保持部件相对地靠近移动，使所述一对工件对位贴合，其中，所述第1保持部件的第1工件保持面或所述第2保持部件的第2工件保持面中的任意一方或双方具备硬涂层，该硬涂层与所述一对工件中的一方或双方对置，并且由比所述第1保持部件、所述第2保持部件、及所述一对工件的材质更硬的材料形成且表面形成为凹凸形状，所述硬涂层从所述第1工件保持面或所述第2工件保持面中的任意一方或双方向所述一对工件中的一方或双方呈山状突出，具有分别与所述一对工件中的一方的平滑表面或双方的平滑表面点接触的多个支撑突起。

公开(公告)号：CN115284718A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202210785506.2

申请日：2016-02-01

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷義和 ,  佐藤谦司 ,  藤田一也

IPC: B32B37/00 ,  B32B37/10 ,  G09F9/33 ,  G09F9/35 ,  G02F1/1333 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造装置。其将一对工件分别保持于第1保持部件和第2保持部件上，通过第1保持部件和第2保持部件相对地靠近移动，使一对工件对位贴合，其中，第1保持部件的第1工件保持面或第2保持部件的第2工件保持面中的任意一方或双方具备硬涂层，该硬涂层与一对工件中的一方或双方对置，并且由比第1保持部件、第2保持部件、及一对工件的材质更硬的材料形成且表面形成为凹凸形状，硬涂层从第1工件保持面或第2工件保持面中的任意一方或双方向一对工件中的一方或双方呈山状突出，具有分别与一对工件中的一方的平滑表面或双方的平滑表面点接触的多个支撑突起。由此，防止第1工件保持面及第2工件保持面随时间的经过而磨损。