公开(公告)号：CN118206272A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202311652942.3

申请日：2023-12-05

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  饭沼均

IPC: C03B19/14 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C11/00 ,  C03C13/04

Abstract: 多孔玻璃基材制造系统和用于制造玻璃基材的方法。多孔玻璃基材制造系统包括：原料供应设备和多孔玻璃基材制造设备。原料供应设备包括：原料箱，其中储存有处于液态的有机硅氧烷原料，并且剩余空间填充有非活性气体；液体供给泵，其用于从原料箱泵送有机硅氧烷原料；循环管道和分支管道，其供所泵送的原料通过；液体质量流控制器，其将通过分支管道的有机硅氧烷原料的流量控制到预定流量；和蒸发器，其设置在质量流控制器的下游以蒸发有机硅氧烷原料。多孔玻璃基材制造设备安装在建筑物的室内并且配备有燃烧有机硅氧烷原料以生产二氧化硅细颗粒的燃烧器。原料供应设备安装在室外或单独的建筑物的室内。

公开(公告)号：CN112512980B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN201980049659.7

申请日：2019-08-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  井上大 ,  饭沼均 ,  水上博公

IPC: C03B37/018 ,  C03B8/04

Abstract: 根据本发明，抑制了供给到气化器的有机硅氧烷液体原料的流量变动，并且使二氧化硅微粒的沉积密度均匀。在根据本发明的制造多孔玻璃基材的方法中，内压为P1的原料罐中储存的有机硅氧烷液体原料被质量流量控制器控制为预定的流量，经过内压为P2的配管并被供给到气化器。液体原料在气化器中气化，并作为气体原料供给到燃烧器。气体原料被燃烧器燃烧以沉积由此生成的二氧化硅微粒并形成多孔玻璃基材。本发明的特征在于在上述制造方法中P1≤P2。

公开(公告)号：CN112512980A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201980049659.7

申请日：2019-08-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  井上大 ,  饭沼均 ,  水上博公

IPC: C03B37/018 ,  C03B8/04

Abstract: 根据本发明，抑制了供给到气化器的有机硅氧烷液体原料的流量变动，并且使二氧化硅微粒的沉积密度均匀。在根据本发明的制造多孔玻璃基材的方法中，内压为P1的原料罐中储存的有机硅氧烷液体原料被质量流量控制器控制为预定的流量，经过内压为P2的配管并被供给到气化器。液体原料在气化器中气化，并作为气体原料供给到燃烧器。气体原料被燃烧器燃烧以沉积由此生成的二氧化硅微粒并形成多孔玻璃基材。本发明的特征在于在上述制造方法中P1≤P2。

公开(公告)号：CN112062461A

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN202010521816.4

申请日：2020-06-10

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  饭沼均

IPC: C03B37/018

Abstract: 本发明涉及光纤用多孔玻璃基材的制造设备和制造方法。光纤用多孔玻璃基材的制造设备，其包括：用于控制有机硅氧烷的原料液的流量的液体质量流量控制器；用于混合原料液和载气并气化原料液从而形成其中原料气体和载气混合的混合气体的气化器；用于将原料液喷射至气化器中的原料液喷嘴；用于将载气供给至气化器中的载气供给配管；用于将供给自液体质量流量控制器的原料液引入至原料液喷嘴中的原料液配管；用于将混合气体与可燃气体和助燃气体一起燃烧来产生SiO2细颗粒的燃烧器；用于将混合气体供给至燃烧器的混合气体配管；设置在原料液配管的流路上的开关阀；和连接到开关阀与原料液喷嘴之间的原料液配管上来供给吹扫气体的吹扫气体供给配管。

公开(公告)号：CN110342807A

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201910213190.8

申请日：2019-03-20

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  饭沼均 ,  井上大

IPC: C03B37/014

Abstract: 本发明提供一种光纤用多孔质玻璃母材的制造装置及制造方法，使用液体状态的有机硅化合物原料作为硅化合物原料，防止因在通向燃烧器的配管中的由加热不均所致的局部性液化或聚合物的生成导致的配管堵塞，可在起始材料上稳定地沉积SiO2微粒子。所述制造方法包括如下步骤：将液体状态的有机硅化合物原料与载气供给至气化器；在该气化器中将液体状态的有机硅化合物原料与载气混合并气化而转换为原料混合气体；将该原料混合气体与可燃性气体供给至燃烧器使之燃烧，并使所生成的SiO2微粒子从燃烧器喷出；及通过该气化器与燃烧器同步并一体地相对于起始材料的长度方向平行地反复移动，将从燃烧器喷出的SiO2微粒子沉积在起始材料上。