公开(公告)号：CN112512980B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN201980049659.7

申请日：2019-08-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  井上大 ,  饭沼均 ,  水上博公

IPC: C03B37/018 ,  C03B8/04

Abstract: 根据本发明，抑制了供给到气化器的有机硅氧烷液体原料的流量变动，并且使二氧化硅微粒的沉积密度均匀。在根据本发明的制造多孔玻璃基材的方法中，内压为P1的原料罐中储存的有机硅氧烷液体原料被质量流量控制器控制为预定的流量，经过内压为P2的配管并被供给到气化器。液体原料在气化器中气化，并作为气体原料供给到燃烧器。气体原料被燃烧器燃烧以沉积由此生成的二氧化硅微粒并形成多孔玻璃基材。本发明的特征在于在上述制造方法中P1≤P2。

公开(公告)号：CN112512980A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201980049659.7

申请日：2019-08-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  井上大 ,  饭沼均 ,  水上博公

IPC: C03B37/018 ,  C03B8/04

Abstract: 根据本发明，抑制了供给到气化器的有机硅氧烷液体原料的流量变动，并且使二氧化硅微粒的沉积密度均匀。在根据本发明的制造多孔玻璃基材的方法中，内压为P1的原料罐中储存的有机硅氧烷液体原料被质量流量控制器控制为预定的流量，经过内压为P2的配管并被供给到气化器。液体原料在气化器中气化，并作为气体原料供给到燃烧器。气体原料被燃烧器燃烧以沉积由此生成的二氧化硅微粒并形成多孔玻璃基材。本发明的特征在于在上述制造方法中P1≤P2。