公开(公告)号：CN1955840A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200610136330.9

申请日：2006-10-16

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 福岛慎泰 ,  吉川博树 ,  金子英雄 ,  稻月判臣

IPC: G03F1/00 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

Abstract: 一种具有最基本结构的基座(11)，具有包括第一和第二透明石英部分(11a)以及夹在它们之间的不透明石英部分(11b)的三层结构。例如，不透明石英部分(11b)由“泡沫石英”制成。另外，考虑在衬底(10)上所形成的薄膜的组分或厚度以及在闪光照射期间关于照射光能量的各种条件等，将不透明石英部分(11b)对闪光的不透明度确定在基于不透明石英部分(11b)材料或厚度的适当范围内。叠置结构可以包括具有不同透明度的多个不透明石英层的叠置。

公开(公告)号：CN1955840B

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN200610136330.9

申请日：2006-10-16

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 福岛慎泰 ,  吉川博树 ,  金子英雄 ,  稻月判臣

IPC: G03F1/00 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

Abstract: 一种具有最基本结构的基座(11)，具有包括第一和第二透明石英部分(11a)以及夹在它们之间的不透明石英部分(11b)的三层结构。例如，不透明石英部分(11b)由“泡沫石英”制成。另外，考虑在衬底(10)上所形成的薄膜的组分或厚度以及在闪光照射期间关于照射光能量的各种条件等，将不透明石英部分(11b)对闪光的不透明度确定在基于不透明石英部分(11b)材料或厚度的适当范围内。叠置结构可以包括具有不同透明度的多个不透明石英层的叠置。