公开(公告)号：CN1333542A

公开(公告)日：2002-01-30

申请号：CN01142036.7

申请日：2001-09-07

Applicant: 信息产业部电子第十三研究所

Inventor： 吕苗 ,  赵正平 ,  邹学锋

IPC: H01H29/22

Abstract: 本发明公开了一种水银式微机械惯性开关制造方法,涉及传感器领域中的一种微机械开关器件装置的制造。它采用水银腔体中的水银珠在承受加速度时,当加速度达到一定阀值,水银珠通过沟道运动到空腔体中,接通电极,达到开关作用。本发明还具有无源工作,性能可靠,工艺简单成熟,制造成本低廉,采用微电子加工技术,便于批量生产,该方法生产的器件还具有体积小、重量轻,使用方便等特点。特别适用于炮弹、导弹引信上作引信惯性保险开关装置及作民用产品惯件开关装置的制造方法。

公开(公告)号：CN1165062C

公开(公告)日：2004-09-01

申请号：CN01142036.7

申请日：2001-09-07

Applicant: 信息产业部电子第十三研究所

Inventor： 吕苗 ,  赵正平 ,  邹学锋

IPC: H01H29/22

Abstract: 本发明公开了一种水银式微机械惯性开关制造方法，涉及传感器领域中的一种微机械开关器件装置的制造。它采用水银腔体中的水银珠在承受加速度时，当加速度达到一定阀值，水银珠通过沟道运动到空腔体中，接通电极，达到开关作用。本发明还具有无源工作，性能可靠，工艺简单成熟，制造成本低廉，采用微电子加工技术，便于批量生产，该方法生产的器件还具有体积小、重量轻，使用方便等特点。特别适用于炮弹、导弹引信上作引信惯性保险开关装置及作民用产品惯性开关装置的制造方法。

公开(公告)号：CN2554790Y

公开(公告)日：2003-06-04

申请号：CN02238087.6

申请日：2002-07-03

Applicant: 信息产业部电子第十三研究所

Inventor： 吕苗 ,  胡小东 ,  赵正平

IPC: H01H50/54

Abstract: 本实用新型公开了一种自适应触点的微机械继电器，它涉及半导体器件领域中硅继电器器件。它由基板、驱动电极、接触电极、单晶硅簧片、绝缘层、自适应触点等部件构成。它采用驱动电极上施加电压时，静电力驱动单晶硅簧片和其上的自适应触点与接触电极产生接触通/断动作，同时自适应触点在接触力作用下产生变形，保证微机械继电器的多个触点同时接触，完成继电器的通/断作用。本实用新型采用微电子加工技术，具有结够简单、体积小、重量轻、成本低、一致性好、电性能可靠等特点，便于批量生产，适合电子线路领域中的自动测试电路、切换电路等应用场合，作为继电器开关器件。

公开(公告)号：CN2499962Y

公开(公告)日：2002-07-10

申请号：CN01259394.X

申请日：2001-09-07

Applicant: 信息产业部电子第十三研究所

Inventor： 吕苗 ,  赵正平 ,  邹学锋

IPC: H01H35/02

Abstract: 本实用新型公开了一种水银式微机械惯性开关,涉及传感器领域中的一种开关器件。它由底顶晶片、中间上下晶片、水银腔体、空腔体、沟道、水银珠、电极等部件组成。它采用的原理是该器件承受加速度时,当达到一定阀值,水银腔体中水银珠通过沟道运动到空腔体中接通电极,达到开关作用。它具有无源工作、性能可靠、结构简单、重量轻、体积小、成本低、采用微电子加工技术便于批量生产等特点,特别适用于炮弹、导弹引信上作引信惯性保险开关及作民用产品惯性开关装置。