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公开(公告)号:CN1977219B
公开(公告)日:2011-12-28
申请号:CN200580021473.9
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法,包括:形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应,并用显影液进行显影,从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤;以及,通过在预定区域中进行分解反应并进行显影,在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而,在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号:CN1968815B
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN200580019601.6
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/038 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2002/14475 , Y10T29/49401
Abstract: 根据本发明,一种用于制造排液头的方法包括步骤:在其上排列有能量产生元件(2)以产生用于排出液体的能量的基板(1)上,形成用于形成流路的固体层(3);在其上设置有固体层的基板上形成用于覆盖固体层的涂层(4);在沉积在固体层的涂层中通过光刻工艺形成用于排出液体的排出口(7);和去除固体层以形成与能量元件和排出口连通的流路(8),其中用于涂层的材料包含阳离子聚合性化合物,阳离子光聚合反应引发剂和阳离子光聚合反应的抑制剂,和其中固体层的材料包含甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物,所述固体层与其中形成涂层的排出口的那部分形成边界。
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公开(公告)号:CN101204880B
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN200710160045.5
申请日:2007-12-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/162 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2002/14475 , B41J2202/11 , G03F1/00 , G03F1/50 , G03F1/70
Abstract: 本发明提供了制造液体排出头的方法,该液体排出头包括生成用于排出液体的能量的能量生成元件、和配备在面对能量生成元件的位置上并具有用于排出液体的排出口的排出部分。该方法包括如下步骤:在基板上形成用于形成排出口的构件的负光敏树脂层,以及将该层曝光于i线,以便形成在从基板到排出口的方向上变尖的排出部分,其中,对于用于曝光的光,该层具有每1μm厚度大约0.02到大约0.07的吸光度。
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公开(公告)号:CN101437684A
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200780015905.4
申请日:2007-05-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2202/11
Abstract: 一种喷墨头,包括:基板,其具有墨供应口;喷射出口,其用于喷射通过墨供应口供应的墨;流路部,其提供墨供应口和喷射出口之间的流体连通;其中,流路部包括靠近基板的近部(6A)和远离基板的远部(6B),在垂直于墨流动方向的截面上,近部的宽度与远部的宽度不同,并且,在近部和远部之间设置台阶部。
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公开(公告)号:CN1977219A
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN200580021473.9
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法,包括:形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应,并用显影液进行显影,从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤;以及,通过在预定区域中进行分解反应并进行显影,在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而,在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号:CN1951696A
公开(公告)日:2007-04-25
申请号:CN200610136289.5
申请日:2006-10-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , Y10T29/49401
Abstract: 一种液体排送头,其包括:基底,其具有能量发生元件,用于产生排送液体所需的能量;排送端口,其用于排送液体,并被设置成与能量发生元件成相对的关系;壁板构件,其围成了腔室,该腔室适于存贮由能量发生元件产生的、排送液体所需的能量;排送部分,其形成了连接腔室与排送端口的流体通路;供应通路,其便于将液体输送到所述腔室中;以及成对的中空部分,它们被设置在壁板构件中,其中,中空部分相互对置,且在从排送端口到基底的方向上,中空部分至少夹置着整个排送端口,且中空部分与腔室是独立的。
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公开(公告)号:CN101746143A
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200910259421.5
申请日:2009-12-18
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2002/14467 , Y10T29/494
Abstract: 本发明涉及液体排出头和液体排出头用基板的制造方法。液体排出头包括Si基板和液体供给口,所述Si基板设置有产生用于排出液体的能量的元件,设置所述液体供给口以从第一表面至背面穿过所述Si基板,从而向所述元件供给液体。所述基板的制造方法包括以下步骤:在面取向为{100}的Si基板背面上形成多个凹部,所述凹部面向所述第一表面并沿所述Si基板的 方向成行排列;和使用Si基板{100}面的蚀刻速率比Si基板{110}面的蚀刻速率慢的蚀刻液,经由凹部,通过在Si基板上进行晶轴各向异性蚀刻而形成多个液体供给口。
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公开(公告)号:CN1976811A
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN200580021431.5
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1639 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2002/14475 , G03F7/038
Abstract: 根据本发明,排液头的制造方法包括以下步骤:在其上设置有能量产生元件的基材上沉积用于形成流路的固体层,该能量产生元件用来产生用于排出液体的能量,在其中安装有该固体层的基材上形成用于覆盖该固体层的涂层,通过光刻工艺,在该固体层上形成的涂层中形成用来排出液体的排出口,和将该固体层除去以形成与该能量元件和该排出口连通的流路,其中用于该涂层的材料包含阳离子可聚合化合物、阳离子光致聚合作用引发剂和阳离子光致聚合作用的抑制剂,和其中与其中形成该涂层的排出口的部分形成边界的固体层的材料包含甲基丙烯酸酐和甲基丙烯酸酯的共聚物。
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公开(公告)号:CN1310762C
公开(公告)日:2007-04-18
申请号:CN200410088008.4
申请日:2004-10-28
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 铃木工
CPC classification number: B41J29/393 , B41J2/16552
Abstract: 图像形成装置具有头盖(26),从排出口排出液体而在打印媒体形成图像,该头盖(26)在具有用于排出液体的排出口的液体排出头(12)未使用时覆盖排出口开口的排出口面(25)的周缘部,相对外气隔断排出口;其中:具有使该图像形成装置工作的二次电池、用于对该二次电池充电的燃料电池(33)、及将随着该燃料电池(33)的工作发生的水引导至头盖(26)内的通道(38),可在液体排出头(12)未使用时对头盖内进行保湿。
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公开(公告)号:CN1611359A
公开(公告)日:2005-05-04
申请号:CN200410088008.4
申请日:2004-10-28
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 铃木工
CPC classification number: B41J29/393 , B41J2/16552
Abstract: 图像形成装置具有头盖(26),从排出口排出液体而在打印媒体形成图像,该头盖(26)在具有用于排出液体的排出口的液体排出头(12)未使用时覆盖排出口开口的排出口面(25)的周缘部,相对外气隔断排出口;其中:具有使该图像形成装置工作的二次电池、用于对该二次电池充电的燃料电池(33)、及将随着该燃料电池(33)的工作发生的水引导至头盖(26)内的通道(38),可在液体排出头(12)未使用时对头盖内进行保湿。
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