公开(公告)号：CN101887833A

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN201010178057.2

申请日：2010-05-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 诹访高典 ,  东尚史 ,  住谷利治

IPC: H01J29/02 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J1/3046 ,  H01J3/022 ,  H01J31/127 ,  H01J2329/0423 ,  H01J2329/4613 ,  H01J2329/4634

Abstract: 本申请涉及电子束装置和使用它的图像显示装置。通过适当地维持栅极(5)的膜厚h与从绝缘部件(3)的外表面到凹部(7)的内表面的距离L之间的关系，抑制由操作电子发射器件时产生的库仑力导致的栅极(5)的变形。据此，在具有叠层型电子发射器件的电子束装置中，防止栅极的变形以减少电子发射特性的变化，由此防止元件被破坏。