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公开(公告)号：CN117170190A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310620836.0
申请日：2023-05-30
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供曝光装置、物品的制造方法及曝光方法。提供能简易降低接合区域的累计曝光量中不均匀的曝光装置。本发明的曝光装置特征在于具备：照明光学系统，包括能在非扫描方向上移动的遮光部，具有供来自光源的曝光的光通过的开口和各自能调整开口在非扫描方向的预定位置的扫描方向的宽度的多个形状调整部，将曝光的光导光到原版；控制部，以使在对第1曝光区域曝光时沿着曝光的光的光路投影时包含于第1曝光区域的第1接合区域内的形状调整部在非扫描方向上的配置、和在对第2曝光区域曝光时沿着曝光的光的光路投影时包含于第2曝光区域的第2接合区域内的形状调整部在非扫描方向的配置不同的方式控制原版载置台与开口之间非扫描方向的相对位置。
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