光照射装置、光学评估装置和物品制造方法

    公开(公告)号:CN110672615A

    公开(公告)日:2020-01-10

    申请号:CN201910591735.9

    申请日:2019-07-03

    Inventor: 植村卓典

    Abstract: 本公开内容涉及光照射装置、光学评估装置和物品制造方法。一种用于用光照射物体的光照射装置,包括:多个线状遮光器,其以预定的中心至中心间隔布置,并且被配置为至少部分地阻挡光;以及多个线状光照射器,其被布置为与多个遮光器中的一些重叠,以便用光照射物体。多个光照射器被布置为形成不小于多个遮光器的中心至中心间隔的两倍的周期。

    检查装置、检查系统和物品制造方法

    公开(公告)号:CN107340297A

    公开(公告)日:2017-11-10

    申请号:CN201710299889.1

    申请日:2017-04-28

    Abstract: 提供了一种检查装置、检查系统和物品制造方法。一种用于执行物体的检查的检查装置,该装置包括:被配置为对物体进行照明的照明设备,被配置为对由照明设备照明的物体进行成像的成像设备,以及被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理的处理器。处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行处理。

    分类方法、检查方法和检查装置

    公开(公告)号:CN105654108B

    公开(公告)日:2019-04-12

    申请号:CN201510823163.4

    申请日:2015-11-24

    Abstract: 本发明涉及分类方法、检查方法和检查装置。本发明提供一种基于物品的图像将物品分类到多个组之一中的分类方法,该方法包括:通过使用样本图像中的至少一些确定用于获得图像的评价值的评价方法;通过确定的评价方法获得样本图像的评价值;通过改变样本图像之中的具有奇异评价值的至少一个样本图像的评价值,改变评价方法,以增大多个组之间的样本图像的评价值范围的相异程度;以及通过使用改变的评价方法获得物品的图像的评价值,并且基于物品的图像的评价值将物品分类到多个组之一中。

    图像处理装置、图像处理方法和存储介质

    公开(公告)号:CN109085171A

    公开(公告)日:2018-12-25

    申请号:CN201810607069.9

    申请日:2018-06-13

    Inventor: 植村卓典

    Abstract: 本发明涉及图像处理装置、图像处理方法和存储介质。该图像处理装置包括:照明单元,被构造为使用如下构件将条纹光投影到被检体上,在所述构件中,在第二方向上以周期P布置有不透射至少一部分入射光的多个非透射部;摄像单元,被构造为通过所述构件对投影了条纹光的被检体进行摄像;图像处理单元,被构造为处理N个图像以生成处理图像;以及驱动单元,被构造为使构件和被检体相对移位。每当通过驱动单元将构件和被检体相对移位变化量ΔXi(i=1,2,...N)时,摄像单元进行摄像。

    分类方法、检查方法和检查装置

    公开(公告)号:CN105654108A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201510823163.4

    申请日:2015-11-24

    CPC classification number: G06K9/6277

    Abstract: 本发明涉及分类方法、检查方法和检查装置。本发明提供一种基于物品的图像将物品分类到多个组之一中的分类方法,该方法包括:通过使用样本图像中的至少一些确定用于获得图像的评价值的评价方法;通过确定的评价方法获得样本图像的评价值;通过改变样本图像之中的具有奇异评价值的至少一个样本图像的评价值,改变评价方法,以增大多个组之间的样本图像的评价值范围的相异程度;以及通过使用改变的评价方法获得物品的图像的评价值,并且基于物品的图像的评价值将物品分类到多个组之一中。

    图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法

    公开(公告)号:CN109724982A

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201811281219.8

    申请日:2018-10-31

    Abstract: 公开了图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法。提供了一种图像生成方法,其生成目标物体的表面的图像,包括:使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第一图像捕获,所述周期性结构体包括以预定周期P交替的透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域,使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第二图像捕获,和使用第一捕获图像和第二捕获图像来生成表面图像,其中第一和第二位置在周期性结构体的周期性方向上彼此不同。

    检查装置、检查系统和制造物品的方法

    公开(公告)号:CN106971387A

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201611215947.X

    申请日:2016-12-23

    Inventor: 植村卓典

    Abstract: 本公开涉及检查装置、检查系统和制造物品的方法。本发明提供一种执行表面的外观检查的检查装置,该装置包括多个成像器件、包含多个光源的照射器件和处理器,其中,多个成像器件被布置为使得多个成像器件分别对表面成像的方位方向相互不同,并且,处理器被配置为在使得多个成像器件中的每一个对表面成像的情况下控制照射器件,使得表面被多个光源中的对表面成像的方位角与对表面照射的方位角之间的角度差小于90度的光源照射。

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