公开(公告)号：CN1157505C

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：CN97125444.3

申请日：1997-12-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 久松雅哉 ,  长谷部明男 ,  村上勉 ,  一之濑博文 ,  新仓论 ,  上野雪绘

IPC: C25F3/02 ,  C25F7/00

CPC classification number: H01L31/076 ,  C25F3/12 ,  C25F7/00 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/548

Abstract: 一种电极结构，包括第一电极，和提供有一对对置部分的至少一个第二电极，对置的部分之间具有预定间距，第一电极置于其中。电极结构适合用于电解腐蚀，能有效地提供不会损坏待腐蚀物的表面的精确腐蚀图形。

公开(公告)号：CN1191903A

公开(公告)日：1998-09-02

申请号：CN97125444.3

申请日：1997-12-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 久松雅哉 ,  长谷部明男 ,  村上勉 ,  一之濑博文 ,  新仓论 ,  上野雪绘

IPC: C25F3/02 ,  C25F3/12 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/076 ,  C25F3/12 ,  C25F7/00 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/548

Abstract: 一种电极结构,包括第一电极,和提供有一对对置部分的至少一个第二电极,对置的部分之间具有预定间距,第一电极置于其中。电极结构适合用于电解腐蚀,能用效地提供不会损坏待腐蚀物的表面的精确腐蚀图形。