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公开(公告)号：CN1453391A
公开(公告)日：2003-11-05
申请号：CN03122058.4
申请日：2003-04-24
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C23C14/30
CPC classification number: C23C14/228 , C23C14/325 , H05H1/48 , H05H2001/483 , H05H2245/124
Abstract: 提供一种超微粒子膜制造装置及使用超微粒子的膜形成方法，使用电弧加热来形成超微粒子，无论是否施加电弧电压都可以将生成的超微粒子高效率地吸入到运送管中，获得稳定的膜。通过电弧加热进行蒸发，将构成超微粒子的蒸发材料(8)连接设置在一个电极上，同时作为另一个电极在前端区域设置多个带有放电部的棒(17)，配置各棒(17)，使得对蒸发材料(8)的方向分别朝向不同的方向。
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