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公开(公告)号：CN1303953A
公开(公告)日：2001-07-18
申请号：CN00137610.1
申请日：2000-11-30
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C23C14/34
CPC classification number: H01J37/3233 , C23C14/355 , H01J37/3405
Abstract: 本发明提供了一种薄膜形成方法,其包括对溅射微粒进行电离和向衬底附近的电极供送周期性变化的电压的步骤,其中等于或者高于该周期性变化的电压的最大与最小值之间的中间值的电压的供送时间比等于或者低于该中间值的电压的供送时间要短,并且还提供了用于执行前述方法的薄膜形成装置。
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公开(公告)号：CN1012853B
公开(公告)日：1991-06-12
申请号：CN86108488
申请日：1986-10-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03G5/08257 , G03G5/08221 , G03G5/08228 , G03G5/08235 , G03G5/08242 , G03G5/0825 , G03G5/10 , Y10S430/146
Abstract: 一种光敏元件包括基底，光敏层和表面层。光敏层由含硅原子和至少还含锗原子或锡原子的无定形材料形成。表面层由含硅原子和至少还含从氧、碳和氮原子中选出的一种原子的无定形材料形成。基底具有凸凹不平表面(它由球形凹痕组成)并具有在光敏层和表面层之间的界面上匹配的光学禁带宽度。克服了常规光接收元件中的所有问题。有效防止图象中出现干涉条纹，即使使用相干激光束作光源，也能得到优质图象。
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公开(公告)号：CN86108413A
公开(公告)日：1987-08-05
申请号：CN86108413
申请日：1986-10-24
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03G5/10 , G03G5/08228 , Y10S430/146 , Y10S430/151
Abstract: 一种光接收元件，它包括基底和多层结构的光接收层。该多层结构至少有一层由非晶硅组成的光敏层或者有光敏层和表面层。上述基底有一个由球形凹痕组成的不规则表面，每个凹痕都有微小的不规则内表面。在光接收层内，表面层具有的光带隙和被表面层覆盖的光敏层具有的光带隙在二者界面上直接匹配。该表面层由包括抗磨层和防反射层的多层结构组成。
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公开(公告)号：CN86108488A
公开(公告)日：1987-07-22
申请号：CN86108488
申请日：1986-10-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03G5/08257 , G03G5/08221 , G03G5/08228 , G03G5/08235 , G03G5/08242 , G03G5/0825 , G03G5/10 , Y10S430/146
Abstract: 一种光接收元件包括基底，光敏层和表面层。光敏层由含硅原子和至少还含锗原子或锡原子的无定形材料形成。表面层由含硅原子和至少还含从氧、碳和氮原子中选出的一种原子的无定型材料形成。基底具有凸凹不平表面(它由球形凹痕组成)并具有在光敏层和表面层之间的界面上匹配的光学禁带宽度。克服了常规光接收元件中的所有问题。有效防止图象中出现干涉条纹，即使使用相干激光束作光源，也能得到优质图象。
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公开(公告)号：CN1132962C
公开(公告)日：2003-12-31
申请号：CN99125440.6
申请日：1999-10-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C23C16/513 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/32082 , C23C16/24 , C23C16/509 , C23C16/511 , C23C16/545 , H01J37/32532
Abstract: 淀积膜形成系统具有：至少一个真空容器；向真空容器输送膜形成用原料气体的装置；使原料气体成为等离子体的放电电极；以及供电导体，将高频功率施加至放电电极，该系统包括：接地屏蔽，在真空容器内围绕供电导体设置；和多个电介质材料部件，它们的至少部分设置在供电导体和接地屏蔽之间。还公开了采用这种淀积膜形成系统的方法。可以长时间地维持大面积均匀放电，并且可以在连续移动的带状基片上形成非常均匀的高质量淀积膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN86108363A
公开(公告)日：1987-07-15
申请号：CN86108363
申请日：1986-11-01
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03G5/08221 , G03G5/08228 , G03G5/08278 , G03G5/10
Abstract: 光接收元件的光敏层由含硅原子及含锗、锡原子中至少一种原子的非晶材料构成，表面层由含硅原子及含氧、碳、氮原子中至少一种原子的非晶材料构成，基底表面由具有微小不平整内表面的球形凹痕构成，光频带隙匹配在光敏层和表面层之间的界面上。该光接收元件解决了所有用非晶硅制成光接收层的传统元件中的问题，特别是有效地防止了由干涉现象在图像中引起的干涉条纹，即使用可能产生干涉的相干激光束作光源，也能形成高质量图像。
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公开(公告)号：CN86107571A
公开(公告)日：1987-06-10
申请号：CN86107571
申请日：1986-10-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03G5/0825 , G03G5/08221 , G03G5/08228 , G03G5/08235 , G03G5/08242 , G03G5/08257 , G03G5/10 , Y10S430/146 , Y10S430/151 , Y10T428/24355
Abstract: 一种光接收元件包括基底和光接收层。该接收层有非晶材料光敏层和表面层。该非晶材料包含硅原子并至少包含锗或锡原子。所说表面层是至少具有最外层的耐磨层和内层防反射层的多层结构。该基底有由球形凹痕构成的不平整表面。该元件克服了非晶硅作光接收层的普通光接收元件的所有问题，特别有效地防止了因干涉现象而在形成的图象上产生干涉条纹，即使在利用相干激光束作为光源可能产生干涉的情况下也能形成质量极好的可见光图象。
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公开(公告)号：CN1012852B
公开(公告)日：1991-06-12
申请号：CN86107585
申请日：1986-10-23
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 一种光接收元件包括基底和多层结构物的光接收层，该层由含硅原子和至少锗或锡原子之一的非晶材料形成的内层和由含硅原子且无锗无锡原子的非晶材料形成的外层构成。基底表面不平整，有许多球状凹痕，各凹痕内表面具有微小不平整性，该元件克服了含有非晶硅复合的常规光接收元件存在的所有问题，尤其有效防止了因干涉现象在图象中产生的干涉条纹，即使在利用相干激光束作为光源可能产生干涉时也能形成质量极好的可见图象。
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公开(公告)号：CN1012762B
公开(公告)日：1991-06-05
申请号：CN86107571
申请日：1986-10-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03G5/082
CPC classification number: G03G5/0825 , G03G5/08221 , G03G5/08228 , G03G5/08235 , G03G5/08242 , G03G5/08257 , G03G5/10 , Y10S430/146 , Y10S430/151 , Y10T428/24355
Abstract: 一种光接收元件包括基底和光接收层，该接收层有非晶材料光敏层和表面层，该非晶材料包含硅原子并至少包含锗或锡原子，所说表面层是至少具有最外层的耐磨层和内层防反射层的多层结构，该基底有由球形凹痕构成的不平整表面。该元件克服了非晶硅作光接收层的普通光接收元件的所有问题，特别有效地防止了因干涉现象而在形成的图象上产生干涉条纹，即使在利用相干激光束作为光源可能产生干涉的情况下也能形成质量极好的可见光图象。
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公开(公告)号：CN1011834B
公开(公告)日：1991-02-27
申请号：CN86108413
申请日：1986-10-24
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03G5/10 , G03G5/08228 , Y10S430/146 , Y10S430/151
Abstract: 一种光接收元件，它包括基底和多层结构的光接收层。该多层结构至少有一层由非晶硅组成的光敏层或者有光敏层和表面层。上述基底有一个由球形凹痕组成的不规则表面，每个凹痕都有微小的不规则内表面。在光接收层内，表面层具有的光带隙和被表面层覆盖的光敏层具有的光带隙在二者界面上直接匹配。该表面层由包括抗磨层和防反射层的多层结构组成。
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