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公开(公告)号：CN107924138A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680049076.0
申请日：2016-08-31
Applicant: 佳能株式会社 , 国立大学法人宇都宫大学
Abstract: 一种用于驱动具有线圈和磁体的马达的驱动装置，包括：向线圈供应电流的电流驱动器，以及产生要供应给电流驱动器的电流命令值的控制器。控制器包括：第一换向计算机(8)，其基于命令值和通过计算命令值获得的计算值中的一个产生第一电流命令值；第二换向计算机(15)，其基于命令值产生第二电流命令值；校正值确定器(16)，其基于第二电流命令值确定校正值；以及校正器(10)，其基于第一电流命令值和校正值产生电流命令值。当电流驱动器具有传递函数F(s)时，校正值确定器具有传递函数(F(s)-1-1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105319864A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510357283.X
申请日：2015-06-25
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70775 , G03F7/7085 , G03F9/7019 , G03F9/7092
Abstract: 本发明涉及测量装置、光刻装置和制造物品的方法。本发明提供了一种测量装置，其包括可移动台并且测量该台上的标记的位置，所述装置包括：成像设备，包括以间距布置的多个像素并且对所述标记成像；驱动设备，其改变台和成像设备之间的相对位置；测量设备，其测量所述相对位置；以及处理器，其基于由成像设备在所述台和所述成像设备之间的彼此不同并且与所述间距相关联的多个相对位置处分别获得的多个图像，来获得所述标记的位置，其中所述处理器被配置为基于相对于所述多个相对位置中的一个的偏差，来获得相对于所述多个相对位置中的另一个的目标相对位置。
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公开(公告)号：CN107924138B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201680049076.0
申请日：2016-08-31
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 一种用于驱动具有线圈和磁体的马达的驱动装置，包括：向线圈供应电流的电流驱动器，以及产生要供应给电流驱动器的电流命令值的控制器。控制器包括：第一换向计算机(8)，其基于命令值和通过计算命令值获得的计算值中的一个产生第一电流命令值；第二换向计算机(15)，其基于命令值产生第二电流命令值；校正值确定器(16)，其基于第二电流命令值确定校正值；以及校正器(10)，其基于第一电流命令值和校正值产生电流命令值。当电流驱动器具有传递函数F(s)时，校正值确定器具有传递函数(F(s)‑1‑1)。
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公开(公告)号：CN105319863B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201510336733.7
申请日：2015-06-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70775
Abstract: 本发明涉及台架装置、光刻装置、物品的制造方法和确定方法，提供了包括可移动的台架的台架装置，该台架装置包括：被配置为通过向台架提供推力驱动台架的驱动单元；被配置为测量台架的位置的测量单元；和被配置为通过向驱动单元供给由用于减少台架的当前位置与目标位置之间的偏差的第一信号和用于减少由包含于推力中的推力波动导致的台架振动的第二信号构成的信号控制台架位置的控制单元。
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公开(公告)号：CN105319864B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201510357283.X
申请日：2015-06-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及测量装置、光刻装置和制造物品的方法。本发明提供了一种测量装置，其包括可移动台并且测量该台上的标记的位置，所述装置包括：成像设备，包括以间距布置的多个像素并且对所述标记成像；驱动设备，其改变台和成像设备之间的相对位置；测量设备，其测量所述相对位置；以及处理器，其基于由成像设备在所述台和所述成像设备之间的彼此不同并且与所述间距相关联的多个相对位置处分别获得的多个图像，来获得所述标记的位置，其中所述处理器被配置为基于相对于所述多个相对位置中的一个的偏差，来获得相对于所述多个相对位置中的另一个的目标相对位置。
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公开(公告)号：CN105319863A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510336733.7
申请日：2015-06-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70775
Abstract: 本发明涉及台架装置、光刻装置、物品的制造方法和确定方法，提供了包括可移动的台架的台架装置，该台架装置包括：被配置为通过向台架提供推力驱动台架的驱动单元；被配置为测量台架的位置的测量单元；和被配置为通过向驱动单元供给由用于减少台架的当前位置与目标位置之间的偏差的第一信号和用于减少由包含于推力中的推力波动导致的台架振动的第二信号构成的信号控制台架位置的控制单元。
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