汽相淀积源和汽相淀积装置

    公开(公告)号:CN101041891A

    公开(公告)日:2007-09-26

    申请号:CN200710088796.0

    申请日:2007-03-22

    CPC classification number: C23C14/243 C23C14/12

    Abstract: 本发明的目的是,减少在汽相淀积源中产生的激溅,并以稳定、高速的汽相淀积速度实施汽相淀积。通过以下步骤实施根据本发明的汽相淀积:将多个多纳圈状平板垂直层叠在坩埚中,将薄的汽相淀积材料安装在多纳圈状平板上,使用包围坩埚的加热器以加热多纳圈状平板上的汽相淀积材料,使得从汽相淀积材料产生的蒸汽通过各层上的流动空间A流到垂直的流动路径B中,和从流动路径B的顶部的开口向要被淀积的衬底排放蒸汽。流动空间A的传导力比流动路径B的传导力小。

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