公开(公告)号：CN106052591B

公开(公告)日：2019-09-03

申请号：CN201610206280.0

申请日：2016-04-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 北村強 ,  时光拓海

IPC: G01B11/25

Abstract: 本公开内容涉及测量设备、测量方法、系统及物品生产方法。一种测量被检体的形状的测量设备，包括处理单元，所述处理单元基于图像获得关于被检体的形状的信息，所述图像通过对其上的图案光包括多条线的被检体成像获得，在所述多条线中设置有将线彼此区分的区分部分。在测量设备中，处理单元在图像的光度分布中在与所述线相交的方向上获取包括亮度为最大和亮度为最小的位置的位置，以及处理单元基于区分部分的位置指定要从亮度为最大的位置和亮度为最小的位置排除的位置并且基于位置中除了已被指定的位置来获得关于被检体的形状的信息。

公开(公告)号：CN106052591A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610206280.0

申请日：2016-04-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 北村強 ,  时光拓海

IPC: G01B11/25

Abstract: 本公开内容涉及测量设备、测量方法、系统及物品生产方法。一种测量被检体的形状的测量设备，包括处理单元，所述处理单元基于图像获得关于被检体的形状的信息，所述图像通过对其上的图案光包括多条线的被检体成像获得，在所述多条线中设置有将线彼此区分的区分部分。在测量设备中，处理单元在图像的光度分布中在与所述线相交的方向上获取包括亮度为最大和亮度为最小的位置的位置，以及处理单元基于区分部分的位置指定要从亮度为最大的位置和亮度为最小的位置排除的位置并且基于位置中除了已被指定的位置来获得关于被检体的形状的信息。