公开(公告)号：CN119333939A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202410970113.8

申请日：2024-07-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 佐久智宣

IPC: F24F11/64 ,  F24F5/00 ,  F24F11/74 ,  G03F7/20 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供了空调系统、空调方法和物品制造方法。空调系统S包括：加热元件安装室R，其中安装了加热元件N；循环空调单元(10)，其被构造为将从加热元件安装室R收集的排热空气B2的温度调节至预定温度并且将该空气返回到加热元件安装室R；供气单元(30)，其被构造为供应来自循环空调单元(10)的外部CR的供应空气B3；排气单元(40)，其被构造为将排热空气B排出到循环空调单元(10)的外部CR；以及供气或排气调节单元(50)，其被构造为基于供应空气B3与排热空气B2之间的温度差来调节供应空气B3的风量和从排气单元(40)排出的排热空气B2b的风量。

公开(公告)号：CN106104751A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201580012912.3

申请日：2015-03-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松本英树 ,  佐久智宣

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  G11B5/84

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C31/008 ,  B29C43/021 ,  B29C43/56 ,  B29C59/002 ,  B29C59/022 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G11B5/855 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供了一种压印设备，其使用模具在基底上模制压印材料，以在所述基底上形成图案，设备包括：喷嘴，包括排放出口，排放出口将压印材料排放到基底上；保持单元，保持单元构造成保持所述模具；供应单元，供应单元构造成将气体供应到保持单元和基底上的压印材料之间的部分，所述气体使得用压印材料填充模具的图案的过程加速；和气体单元，气体单元设置有所述喷嘴，其中，气体单元相对于第一空间周围的第二空间实施气体供应或者抽排，所述第一空间位于喷嘴和基底的面向喷嘴并且被运送到喷嘴下方的部分之间，以便防止气体流入到第一空间中。

公开(公告)号：CN106104751B

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201580012912.3

申请日：2015-03-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松本英树 ,  佐久智宣

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  G11B5/84

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C31/008 ,  B29C43/021 ,  B29C43/56 ,  B29C59/002 ,  B29C59/022 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G11B5/855 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供了一种压印设备，其使用模具在基底上模制压印材料，以在所述基底上形成图案，设备包括：喷嘴，包括排放出口，排放出口将压印材料排放到基底上；保持单元，保持单元构造成保持所述模具；供应单元，供应单元构造成将气体供应到保持单元和基底上的压印材料之间的部分，所述气体使得用压印材料填充模具的图案的过程加速；和气体单元，气体单元设置有所述喷嘴，其中，气体单元相对于第一空间周围的第二空间实施气体供应或者抽排，所述第一空间位于喷嘴和基底的面向喷嘴并且被运送到喷嘴下方的部分之间，以便防止气体流入到第一空间中。