机器人手、其控制方法、物品的组装方法及存储介质

    公开(公告)号:CN109955279B

    公开(公告)日:2022-10-28

    申请号:CN201811531652.2

    申请日:2018-12-14

    Inventor: 上野真路

    Abstract: 本发明提供一种机器人手、其控制方法、物品的组装方法及存储介质。该机器人手包括:机器人手控制单元,其在基部上具有至少三个抓握指并控制机器人手;多个驱动机构,其使所述至少三个抓握指彼此独立地靠近或远离;多个驱动控制单元,其独立地控制多个驱动机构的多个驱动源中的各个驱动源;以及分配控制单元,其配置在基部上并将来自机器人手控制单元的指令值分配给与多个抓握指相关联的多个驱动控制单元。抓握指中的至少一个抓握指包括一体地形成的驱动源和驱动控制单元。

    机器人手、其控制方法、物品的组装方法及存储介质

    公开(公告)号:CN109955279A

    公开(公告)日:2019-07-02

    申请号:CN201811531652.2

    申请日:2018-12-14

    Inventor: 上野真路

    Abstract: 本发明提供一种机器人手、其控制方法、物品的组装方法及存储介质。该机器人手包括:机器人手控制单元,其在基部上具有至少三个抓握指并控制机器人手;多个驱动机构,其使所述至少三个抓握指彼此独立地靠近或远离;多个驱动控制单元,其独立地控制多个驱动机构的多个驱动源中的各个驱动源;以及分配控制单元,其配置在基部上并将来自机器人手控制单元的指令值分配给与多个抓握指相关联的多个驱动控制单元。抓握指中的至少一个抓握指包括一体地形成的驱动源和驱动控制单元。

    减振装置、反作用力处理系统、平台装置、曝光装置

    公开(公告)号:CN115376991A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202210447646.9

    申请日:2022-04-26

    Inventor: 上野真路

    Abstract: 本发明提供减振装置、反作用力处理系统、平台装置、曝光装置、基板处理装置和物品制造方法。一种减振装置被构造为阻尼目标构件的振动,该减振装置包括:质量体;基座,其被设置在目标构件上;支撑构件,其被设置在基座上并且被构造为支持质量体;壳体,其以围绕支撑构件的方式被设置在基座上;弹性构件,其被设置为在壳体中形成空间,并且被构造为对支撑构件施加力;以及控制单元,其被构造为基于目标构件的振动状态通过向所述空间供应流体来控制所述空间中的流体的压力。

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