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公开(公告)号：CN114127332B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202080051147.7
申请日：2020-09-02
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
Abstract: 负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。
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公开(公告)号：CN114127332A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202080051147.7
申请日：2020-09-02
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
Abstract: 负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。
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公开(公告)号：CN118213259A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410335147.X
申请日：2020-09-02
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01J37/32 , C23C14/56 , C23C16/458
Abstract: 本发明涉及一种从装载室经由负载锁定装置向与减压处理装置连接的传递室搬运基板的搬运方法。负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使基板保持件升降的方式配置于负载锁定室的下方，并经由连结构件与基板保持件连结；延长室，所述延长室从负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。延长室具有在从基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，泵与所述开口连接。
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