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公开(公告)号：CN102760679A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210128524.X
申请日：2012-04-27
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种能够抑制粒子的产生、构造物对基板处理造成的影响，改善基板温度控制性，进而对应于量产装置易于拆卸基板的基板托架。用于保持基板的基板托架具备托架主体、和包括载置基板的基板载置部的基板载置板，所述托架主体包括以使所述基板的应处理的部分露出的方式保持所述基板的周端部的基板保持部、和被配置比所述基板保持部更靠外侧的磁铁，以使所述托架主体通过磁力保持所述基板载置板。
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公开(公告)号：CN114127332B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202080051147.7
申请日：2020-09-02
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
Abstract: 负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。
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公开(公告)号：CN114127332A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202080051147.7
申请日：2020-09-02
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
Abstract: 负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104737283B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201380055343.1
申请日：2013-05-31
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01L21/683 , C23C14/50 , H01L21/31
CPC classification number: C23C14/50 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771
Abstract: 本发明是一种基板处理装置，该基板托盘具备托盘本体，和包含支撑基板的基板支撑部的基板支撑板，托盘本体包含基板保持部和磁铁，该基板保持部以基板应处理的部分露出的方式保持上述基板的周端部该磁铁以通过磁力上述托盘本体保持上述基板支撑板的方式被配置在上述基板保持部的外侧，基板托盘经由密封构件，通过托盘保持器保持。
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公开(公告)号：CN104737283A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380055343.1
申请日：2013-05-31
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01L21/683 , C23C14/50 , H01L21/31
CPC classification number: C23C14/50 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/68714 , H01L21/68785
Abstract: 本发明是一种基板处理装置，该基板托盘具备托盘本体，和包含支撑基板的基板支撑部的基板支撑板，托盘本体包含基板保持部和磁铁，该基板保持部以基板应处理的部分露出的方式保持上述基板的周端部该磁铁以通过磁力上述托盘本体保持上述基板支撑板的方式被配置在上述基板保持部的外侧，基板托盘经由密封构件，通过托盘保持器保持。
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公开(公告)号：CN118213259A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410335147.X
申请日：2020-09-02
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01J37/32 , C23C14/56 , C23C16/458
Abstract: 本发明涉及一种从装载室经由负载锁定装置向与减压处理装置连接的传递室搬运基板的搬运方法。负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使基板保持件升降的方式配置于负载锁定室的下方，并经由连结构件与基板保持件连结；延长室，所述延长室从负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。延长室具有在从基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，泵与所述开口连接。
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公开(公告)号：CN117881813A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202180101848.1
申请日：2021-08-31
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 溅镀装置具备：处理室；基板保持器，其在前述处理室之中的处理空间以基板保持面保持基板；第1靶保持器，其将第1靶保持为前述第1靶的第1表面面向前述处理空间；以及第2靶保持器，其将第2靶保持为前述第2靶的第2表面面向前述处理空间；前述第1靶保持器将前述第1靶保持为，相对于包含前述基板保持面的假想平面的前述第1表面的法线向量即第1法线向量的正投影向量朝向从前述基板远离的方向，前述第2靶保持器将前述第2靶保持为，相对于前述假想平面的前述第2表面的法线向量即第2法线向量的正投影向量朝向从前述基板远离的方向。
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公开(公告)号：CN102760679B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201210128524.X
申请日：2012-04-27
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种能够抑制粒子的产生、构造物对基板处理造成的影响，改善基板温度控制性，进而对应于量产装置易于拆卸基板的基板托架。用于保持基板的基板托架具备托架主体、和包括载置基板的基板载置部的基板载置板，所述托架主体包括以使所述基板的应处理的部分露出的方式保持所述基板的周端部的基板保持部、和被配置比所述基板保持部更靠外侧的磁铁，以使所述托架主体通过磁力保持所述基板载置板。
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