公开(公告)号：CN105177514A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510282025.X

申请日：2015-05-28

Applicant: 佳能安内华股份有限公司

Inventor： 石原雅仁 ,  松木信雄 ,  今井孝明 ,  野泽直之 ,  山田民夫

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明提供有利于生产效率提高和设置面积缩小的基板处理装置。基板处理装置具备：处理基板的第一面和第二面的处理部、调整基板的温度的温度调整部、使温度调整部移动的驱动部、和输送基板的输送部，处理部进行的基板的第一面的处理在第一配置中进行，该第一配置是指基板配置在第一位置且温度调整部配置在基板的第二面的一侧，处理部进行的基板的第二面的处理在第二配置中进行，该第二配置是指基板配置在第二位置且温度调整部配置在基板的第一面的一侧，为了当在第一配置中第一面被处理后在第二配置中处理第二面，输送部将基板从第一位置沿输送路径输送至第二位置，在输送部将基板从第一位置输送至第二位置时，驱动部使温度调整部临时地从输送路径退避。

公开(公告)号：CN105177514B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201510282025.X

申请日：2015-05-28

Applicant: 佳能安内华股份有限公司

Inventor： 石原雅仁 ,  松木信雄 ,  今井孝明 ,  野泽直之 ,  山田民夫

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明提供有利于生产效率提高和设置面积缩小的基板处理装置。基板处理装置具备：处理基板的第一面和第二面的处理部、调整基板的温度的温度调整部、使温度调整部移动的驱动部、和输送基板的输送部，处理部进行的基板的第一面的处理在第一配置中进行，该第一配置是指基板配置在第一位置且温度调整部配置在基板的第二面的一侧，处理部进行的基板的第二面的处理在第二配置中进行，该第二配置是指基板配置在第二位置且温度调整部配置在基板的第一面的一侧，为了当在第一配置中第一面被处理后在第二配置中处理第二面，输送部将基板从第一位置沿输送路径输送至第二位置，在输送部将基板从第一位置输送至第二位置时，驱动部使温度调整部临时地从输送路径退避。