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公开(公告)号：CN106206221A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610203655.8
申请日：2016-04-01
Applicant: 住友重机械离子技术有限公司
Inventor： 佐藤正辉
IPC: H01J27/02 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/32669 , H01J37/32055 , H01J37/3233 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J37/3244 , H01J37/32458 , H01J37/32541 , H01J37/3255 , H01J2237/3365 , H01J27/02 , H01J27/022 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J37/317 , H01J37/3171
Abstract: 本发明提供一种提高装置寿命及等离子生成效率的等离子生成装置。等离子生成装置具备：电弧室(12)，内部具有生成等离子的等离子生成区域；磁场发生器(16)，向等离子生成区域施加磁场(B)；以及阴极(30)，在沿着施加到等离子生成区域的磁场(B)的施加方向的轴向上延伸，且在其前端设置有放出热电子的阴极罩。阴极罩具有朝向电弧室(12)的内部在轴向上突出，且随着朝向电弧室(12)的内部，与轴向正交的径向宽度变小的形状。
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公开(公告)号：CN106206221B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201610203655.8
申请日：2016-04-01
Applicant: 住友重机械离子技术有限公司
Inventor： 佐藤正辉
IPC: H01J27/02 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/32669 , H01J37/32055 , H01J37/3233 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J37/3244 , H01J37/32458 , H01J37/32541 , H01J37/3255 , H01J2237/3365
Abstract: 本发明提供一种提高装置寿命及等离子生成效率的等离子生成装置。等离子生成装置具备：电弧室(12)，内部具有生成等离子的等离子生成区域；磁场发生器(16)，向等离子生成区域施加磁场(B)；以及阴极(30)，在沿着施加到等离子生成区域的磁场(B)的施加方向的轴向上延伸，且在其前端设置有放出热电子的阴极罩。阴极罩具有朝向电弧室(12)的内部在轴向上突出，且随着朝向电弧室(12)的内部，与轴向正交的径向宽度变小的形状。
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公开(公告)号：CN105529236A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510665760.9
申请日：2015-10-15
Applicant: 住友重机械离子技术有限公司
Inventor： 佐藤正辉
IPC: H01J37/317 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/08 , H01J2237/083 , H01J37/02
Abstract: 本发明提供一种有助于提高离子注入装置的生产率的射束引出狭缝结构及离子源。本发明的射束引出狭缝结构具备：等离子室内侧表面(66)，使用时与等离子接触；等离子室外侧表面(67)，与引出电极对置；及狭缝表面部(68)，在射束引出方向上在等离子室内侧表面(66)与等离子室外侧表面(67)之间形成射束引出狭缝(42)。狭缝表面部(68)具备：等离子界面固定部(69)，将等离子的等离子界面保持为固定；及等离子界面非固定部(70)，将等离子的等离子界面保持为可向射束引出方向移动。等离子界面固定部(69)形成于狭缝长边方向上的等离子的高密度区域。等离子界面非固定部(70)形成于狭缝长边方向上的等离子的低密度区域。
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公开(公告)号：CN105529236B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201510665760.9
申请日：2015-10-15
Applicant: 住友重机械离子技术有限公司
Inventor： 佐藤正辉
IPC: H01J37/317 , H01J37/02
Abstract: 本发明提供一种有助于提高离子注入装置的生产率的射束引出狭缝结构及离子源。本发明的射束引出狭缝结构具备：等离子室内侧表面(66)，使用时与等离子接触；等离子室外侧表面(67)，与引出电极对置；及狭缝表面部(68)，在射束引出方向上在等离子室内侧表面(66)与等离子室外侧表面(67)之间形成射束引出狭缝(42)。狭缝表面部(68)具备：等离子界面固定部(69)，将等离子的等离子界面保持为固定；及等离子界面非固定部(70)，将等离子的等离子界面保持为可向射束引出方向移动。等离子界面固定部(69)形成于狭缝长边方向上的等离子的高密度区域。等离子界面非固定部(70)形成于狭缝长边方向上的等离子的低密度区域。
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