公开(公告)号：CN1708831A

公开(公告)日：2005-12-14

申请号：CN200380102421.5

申请日：2003-10-14

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 工藤利雄 ,  清家幸治 ,  山崎和则

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/268

CPC classification number: H01L21/02686 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268

Abstract: 提供一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件。向该薄膜施加脉冲激光束，该脉冲激光束在沿该薄膜的表面上沿一个方向具有细长形光束截面，通过该脉冲激光束，该薄膜被熔融，之后使该薄膜凝固。在第一带状区域内连续形成沿光束截面的长轴方向排成链的晶粒，该第一带状区域沿光束入射区域的长轴方向延伸，并处在光束入射区域中位于其中心线与沿长轴方向延伸的光束入射区域的边界之间的区域中，且与所述边界和中心线隔开一定距离。

公开(公告)号：CN100514561C

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200710142345.0

申请日：2003-10-14

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 工藤利雄 ,  清家幸治 ,  山崎和则

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/268

CPC classification number: H01L21/02686 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明涉及利用激光制造结晶膜的方法。根据本发明，首先提供一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件。接着，向该薄膜施加脉冲激光束，该脉冲激光束在沿该薄膜的表面上沿一个方向具有细长形光束截面，通过该脉冲激光束，该薄膜被熔融，之后使该薄膜凝固。在第一带状区域内连续形成沿光束截面的长轴方向排成链的晶粒，该第一带状区域沿光束入射区域的长轴方向延伸，并处在光束入射区域中位于其中心线与沿长轴方向延伸的光束入射区域的边界之间的区域中，且与所述边界和中心线隔开一定距离。通过上述方式，本发明可以很方便地获得大晶粒。

公开(公告)号：CN100378919C

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200380102421.5

申请日：2003-10-14

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 工藤利雄 ,  清家幸治 ,  山崎和则

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/268

CPC classification number: H01L21/02686 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268

Abstract: 提供一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件。向该薄膜施加脉冲激光束，该脉冲激光束在沿该薄膜的表面上沿一个方向具有细长形光束截面，通过该脉冲激光束，该薄膜被熔融，之后使该薄膜凝固。在第一带状区域内连续形成沿光束截面的长轴方向排成链的晶粒，该第一带状区域沿光束入射区域的长轴方向延伸，并处在光束入射区域中位于其中心线与沿长轴方向延伸的光束入射区域的边界之间的区域中，且与所述边界和中心线隔开一定距离。

公开(公告)号：CN101145518A

公开(公告)日：2008-03-19

申请号：CN200710142345.0

申请日：2003-10-14

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 工藤利雄 ,  清家幸治 ,  山崎和则

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/268

CPC classification number: H01L21/02686 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明涉及结晶膜以及利用激光制造结晶膜的方法。根据本发明，首先提供一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件。接着，向该薄膜施加脉冲激光束，该脉冲激光束在沿该薄膜的表面上沿一个方向具有细长形光束截面，通过该脉冲激光束，该薄膜被熔融，之后使该薄膜凝固。在第一带状区域内连续形成沿光束截面的长轴方向排成链的晶粒，该第一带状区域沿光束入射区域的长轴方向延伸，并处在光束入射区域中位于其中心线与沿长轴方向延伸的光束入射区域的边界之间的区域中，且与所述边界和中心线隔开一定距离。通过上述方式，本发明可以很方便地获得大晶粒。