公开(公告)号：CN101092690A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710112134.2

申请日：2007-06-19

Applicant: 住友电气工业株式会社 ,  创研工业株式会社

Inventor： 上野昌纪 ,  高桥健 ,  上田登志雄 ,  矢作理 ,  中村孝夫 ,  氏家一夫 ,  石川亨一 ,  竹本菊郎

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/205

Abstract: 一种金属有机汽化和供给设备，包括：用于保留金属有机材料的贮留容器；连接至贮留容器的起泡气体供给通路，用于将起泡气体供给金属有机材料；连接至贮留容器的金属有机气体供给通路，用于将在贮留容器中产生的金属有机气体和稀释气体供给沉积室；连接至所述金属有机气体供给通路的稀释气体供给通路，用于将稀释气体供给金属有机气体供给通路；提供在起泡气体供给通路中的流速调节器，用于调节起泡气体的流速；用于调节稀释气体的压力的压力调节器；和音速喷嘴，设置在金属有机气体供给通路和稀释气体供给通路之间的连接位置的下游侧上的金属有机气体供给通路中。